レーザードップラ振動計によるワイヤボンダ超音波振動測定について
目 次
- ワイヤボンダの超音波機構部
- ワイヤボンディングとボンディングパラメータ
- ボンディングパラメータ解析の問題
- レーザードップラ振動計による測定の有効性
- 測定システムの構成
- 測定の内容
- 6-1 テスト駆動時の振動値測定（静的チェック）
- 6-2 ツール圧着時の振動測定（動的測定）
- 6-3 ツールの振動モード測定
- 6-4 リードフレームの共振測定
- まとめ
- ワイヤボンダ測定手順
- 8-1 機器構成
- 8-2 機器のセットアップ
- 8-3 センサー操作手順
- 8-4 オシロスコープ仮設定手順
- 8-5 ワイヤボンダのテスト発振
- 8-6 OSC解析手順
- 参考文献