分辨率0.1µm
左侧：GS-3830B 右侧：GS-3813B
GS-3813B/GS-3830B 是一款亚微米级数字式位移传感器，具有高度耐用的轴承和 IP66G 防尘防水性能；适用于集成在自动化设备中进行产线内的测量，并具有高分辨率。
采用滚珠花键轴承和新研发的光学系统，得以实现既具有高分辨率又具有各种环境下都可使用的性能。
检测信号可以输出为方波（线路驱动器输出），从而可以直接连接到 PLC。
使用 GS-3813B/GS-3830B 数字式位移传感器时，需要配套 DG-5100 数字式位移计数器。
DG-5100数字式位移计数器
高分辨率化
1 µm → 0.1 µm
保护等级 IP66G
实现防尘、防水，以及耐油性
大幅提升了轴承寿命和耐环境性能，
高分辨率类型也可集成于自动化设备
・轴承寿命 滑动耐久次数 500万次 → 1500 万次
・耐振动 98 m/s2 → 196 m/s2
・耐冲击 980 m/s2→ 1960 m/s2
针对用于激光设备的玻璃部件等，在研磨加工过程中使用拥有高精度的接触式位移传感器进行尺寸检查，以确保中间工序的精度，然后将其送往最终的光学检查工序。
以1 µm的精度测量硅晶片厚度
高精度数字式位移传感器可凭借1 µm的精度测量硅晶片的厚度； 针对4 英寸以下的较小硅晶片的测试时可使用 ST-0230 传感器支架。
针对像硅晶片这样具有弯曲的板状材料进行高精度的厚度测量。为了避免受到弯曲的影响，采用了特殊的支架结构，其中让“凸面”接住GS-3813B数字式位移传感器的测量头，其余的四个点由销钉支撑。
通过将GS-3813B数字式位移传感器的测量头中心与硅晶片的“凸面”中心对准，可以几乎不受弯曲影响地进行厚度测量。测量数据可以通过RS-232C接口传输到电脑，从而进行统计处理等二次处理。
| GS-3813B | GS-3830B | |
|---|---|---|
| 测量范围 | 13 mm | 30 mm |
| 配套计数器 | DG-5100 | |
| 分辨率 | 0.1 µm | |
| 显示精度(20 ℃时) | 1 µm | |
| 最大响应速度 ※1 | 300 mm/s (1.2 m/s) | |
| 测量力(向下) ※2 | 2.3 N 以下 | 2.7 N 以下 |
| 测量力调整范围(选配功能)※2 | 0.9～2.3 N | 1.6～2.2 N |
| 测量力调整范围(选配功能)※3 | 2.7～3.0 N | （不可） |
| 滑动耐久次数 | 1500万次 | |
| 保护等级(不含接插头部份) | IP66G | |
| 轴杆直径 | φ15 mm+0 -0.009 | |
| 电源 | DC 4.5～5.5 V | |
| 消耗电流(使用DC 5 V) | 150 mA 以下 | |
| 信号输出(使用DC 5 V) | 90°相位差差动方波 符合RS422A标准的线驱动输出(相当于26C31) | |
| 耐振(未通电时) ※4 | 196 m/s2 196 m/s2 3轴各方向(各75分钟)10 Hz至150 Hz扫频 10周期 | |
| 耐冲击(未通电时)※4 | 1960 m/s2 3轴各方向各朝向 ±X,Y,Z各3次 正弦半波 作用时间6 ms | |
| 使用温度范围 | 0～40 ℃ | |
| 保存温度范围 | －10～55 ℃ | |
| 电缆长度 | 约 5 m | |
| 重量(包含电缆，接插头) | 约 350 g | 约 420 g |
| 附属品 | 使用说明书，板手 | |
| 选配件 | ・AA-969 手动提升器 ・ST-0230、ST-044B (仅GS-3830可使用) 传感器支架 ・AA-4104 (13 mm)／4105 (30 mm) 替换用防尘橡胶套管 ・AA-844 (30 mm)／845 (50 mm) 延长测量杆 ・各种 测量头 ・AA-3310 安装夹具 ・AA-8901 (5 m)／AA-8902 (10 m)／AA-8903 (20 m)／AA-8904 (30 m) 延长电缆 数字式位移传感器用信号电缆及配件 |
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※1 （ ）内为使用本公司数字式位移计数器DG-5100时的电气响应速度。
※2 向上方向使用时，测量杆有可能不能完全复位。
※3 这是将位移传感器改造成能够向上使用的变更范围。（数值为向下测量时的力）。
※4 测量中的耐振耐冲击性能，规格表所示的性能值不与保证。
※ 信号电缆若中途剪断或进行改造，将不符合CE标志要求。
最終更新日:2025/03/03
