注):このテーブルには、

センサを上下にセットする必要があります。

高い安定性を有する静電容量式微少変位センサ(ギャップディテクタ)を使用し、非接触・高精度の厚さ測定を実現します。測定対象や測定物形状に応じてお選びいただける9種類のセンサと、厚さ計(CLシリーズ)や変位計(VTシリーズ)を組合せ、用途にあった最適なシステムが構築可能です。

タービン・電動機・コンプレッサ、工作機械主軸といった回転軸の軸振動や面触れの測定や、移動中の物体の厚さや幅の測定・制御などに威力を発揮します。変位量はもちろん、たわみ量、そり量の測定と監視など計測制御関係を中心とした幅広い応用が可能です。

非接触厚さ計の測定原理について

非接触厚さ計の用途別構成事例と概算

 


静電容量式微小変位センサ(ギャップディテクタ)

標準タイプ
VE-5010
VEシリーズ
センサ
(ケーブル一体型)
詳細はこちら

VE-1020
VEシリーズ
センサ
(ケーブル一体型)
詳細はこちら
VE-1520
VEシリーズ
センサ
詳細はこちら
VE-3020
VEシリーズ
センサ
詳細はこちら
VE-8020
VEシリーズ
センサ
詳細はこちら
VE-5010 VE-1020 VE-1520 VE-3020 VE-8020
特長
測定範囲 :
50 ~ 500 μm
外形 : φ6
ケーブル長 : 1.5 m
特長
測定範囲 :
100 ~1000 μm
外形 : φ8
ケーブル長 : 1.5 m
特長
測定範囲 :
150 ~1500 μm
外形 : φ10
ケーブル (オプション) :
VL-1520/1521(1.5 m)
特長
測定範囲 :
300 ~3000 μm
外形 : φ20
ケーブル (オプション) : VL-1520/1521 (1.5 m)
特長
測定範囲 :
800 ~8000 μm
外形 : φ40
ケーブル (オプション) : VL-1520/1521 (1.5 m)
適合カウンタ
VT-5200/5700、CL-5600/5600S
↑ 製品の詳細説明は各製品をクリックください

Ø10 mm 共通クランプ形状タイプ
VE-2011
VEシリーズ
センサ
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VE-5011
VEシリーズ
センサ
詳細はこちら
VE-1021
VEシリーズ
センサ
詳細はこちら
VE-3021
VEシリーズ
センサ
販売終了
詳細はこちら
VE-8021
VEシリーズ
センサ
詳細はこちら
VE-2011 VE-5011 VE-1021 VE-3021 VE-8021
特長
測定範囲 : 20 ~200 μm
外形 : φ3 (先端)
ケーブル (オプション) :
VL-1520/1521(1.5 m)
特長
測定範囲 : 50 ~500 μm
外形 : φ6 (先端)
ケーブル (オプション) :
VL-1520/1521(1.5 m)
特長
測定範囲 : 100 ~1000 μm
外形 : φ8 (先端)
ケーブル (オプション) :
VL-1520/1521(1.5 m)
特長
測定範囲 : 300 ~3000 μm
外形 : φ20 (先端)
ケーブル (オプション) : VL-1520/1521 (1.5 m)
特長
測定範囲 : 800 ~8000 μm
外形 : φ40
ケーブル (オプション) : VL-1520/1521 (1.5 m)
適合カウンタ
VT-5200/5700CL-5600/5600S
↑ 製品の詳細説明は各製品をクリックください

非接触厚さ計 (静電容量式)

CL-5610シリーズは、VE シリーズ静電容量式ギャップディテクタを用いた導体、半導体および絶縁体の非接触厚さ計です。静電容量式センサは非接触センサとして多くの実績があり、簡単な操作で高精度に安定した厚さ測定ができます。 CL-5610シリーズには、2個のセンサを使う導体・半導体測定機能(標準)と、1個のセンサを使う絶縁体測定機能(CL-0300オプション)があります。 CL-5610 はVEセンサーと本体の設置距離は1.5mとなりますが、CL-5610S は最大11.5 m 離して設置することができます。

 

測定例2

測定例1

ラインアップ
CL-5610
非接触厚さ計
詳細はこちら

CL-5610S
非接触厚さ計 (ギャップ変換機分離型)
詳細はこちら
CL-5600
CL-5600S
CL-0420
ギャップ変換機
 
CL-0420
特長

■ 導体・半導体の測定対象物の厚さ
■ センサAと測定対象物のギャップA
■ センサBと測定対象物のギャップB

特長

■ 導体・半導体の測定対象物の厚さ
■ センサAと測定対象物のギャップA
■ センサBと測定対象物のギャップB
■ ギャップ変換器(CL-0420) 分離型
本体間ケーブル2.5m(標準付属)
(オプションで最大10m本体から分離可能)

オプション
CL-0110 : アナログ出力、コンパレータ出力機能
CL-0200 : 高分解能演算機能-最小 0.02 μm の表示分解能
CL-0210 高インピーダンス接地モード機能
CL-0300 : 絶縁体の測定対象物の厚さ測定機能
適合センサ
VEシリーズ
↑ 製品の詳細説明は各製品をクリックください

非接触変位計 (静電容量式)

測定例

VTシリーズには、電源がAC専用の VT-5200シリーズ (実験室・研究向き用)とDC±15V専用の小型タイプ VT-5700シリーズ(ライン・組込み用)があります。

また、出力の応答周波数は4kHz、10kHzとありますので、用途に応じて選択してください。
ラインアップ
VT-5210
非接触変位計
(4 kHz)
詳細はこちら

VT-5220
非接触変位計
(10 kHz)
詳細はこちら
VT-5710
非接触変位計
(4 kHz)
詳細はこちら
VT-5720
非接触変位計
(10 kHz)
詳細はこちら
HS/HG CT-6520 GS7710 FT-1500
特長
出力 : 0 ~ 5 V /
0 ~100 %F.S.
直線性 :±0.2 %F.S. /
10 ~ 100 %F.S.
応答周波数 : DC ~ 4 kHz
モニタ表示 : 20分割LED
アナログ出力オフセット機能
特長
出力 : 0 ~ 5 V /
0 ~100 %F.S.
直線性 :±0.25 %F.S. /
10 ~ 100 %F.S.
応答周波数 : DC ~ 10 kHz
モニタ表示 : 20分割LED
アナログ出力オフセット機能
特長
出力 : 0 ~ 5 V /
0 ~100 %F.S.
直線性 :±0.2 %F.S. /
10 ~ 100 %F.S.
応答周波数 : DC ~ 4 kHz
モニタ表示 : 10分割LED
特長
出力 : 0 ~ 5 V /
0 ~100 %F.S.
直線性 :±0.25 %F.S. /
10 ~ 100 %F.S.
応答周波数 : DC ~ 10 kHz
モニタ表示 : 10分割LED
電源
AC 100 ~ 240 V / 10 VA

電源
DC ± 15 V / 100 mA
適合センサ
↑ 製品の詳細説明は各製品をクリックください

* F.S.(フルスケール):VEセンサの最大測定範囲です


関連機器

VL-1520 ケーブル長 1.5m
(両端ストレートタイプ コネクタ)

VL-1521 ケーブル長 1.5m
(L型コネクタ-ストレートタイプ コネクタ)

 

リニアゲージセンサ等の用途別構成事例と概算

 

最終更新日:2016/09/02



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