静電容量式非接触変位計
VT-5700 シリーズ
新開発 VEシリーズ静電容量式ギャップディテクタと VT シリーズ変換器の組み合わせにより、測定対象（鉄、アルミ、銅、各種金属メッキなどの導電体）までの距離・変位を非接触で高精度に測定する静電容量式微小変位計です。
測定対象物面とそれと対向して設置された VE シリーズセンサー電極の端面とが形成するコンデンサーの静電容量から、センサー端面とターゲット面のギャップ・変位を測定します。
VT-5700 シリーズは組み込み用途に適した小型・低価格タイプで、応答周波数が 4kHz の VT-5710と高速応答 10kHz 対応の VT-5720 の2機種をラインナップ。タービン、電動機、コンプレッサといった回転機の軸振動や面振れ、シリコンウェハ、ハードディスク等導電体の反りや平面度・厚さの測定制御に威力を発揮します。
非接触検出のため、回転あるいは振動する測定対象物に負荷をかけず、そのうえ振動モードをかえることもありません。VEセンサーは測定範囲 20μm～8 mm 用まで9種類を用意しました。
特長
- 測定範囲 20μm～最大 8 mmのワイドレンジ
- 0.2％／F.S.の測定精度（変換器・センサー組合わせにて）
- Max 10 ｋHzの高速周波数応答 - ダイナミックな変位変化にも高速応答（VT-5720）
- 組み込み用途に適した小型・低価格タイプ
- 非接触測定のため測定対象に影響を与えません
- すべての導電体が測定可能 - 測定対象の色・粗さ・反射率・外光等の影響を受けません
アプリケーション例
軸振動測定
面振動測定
反り・たわみ・平面度測定
概略仕様
| 型名 | VT-5710 | VT-5720 |
|---|---|---|
| 検出方法 | 静電容量式 | |
| 出力 | 0～5 V/0～100 % F.S. | |
| 直線性 | ±0.2 % F.S. / 10～100 % F.S. | ±0.25 % F.S. / 10～100 % F.S. |
| 応答周波数 | DC ～4 kHz | DC ～10 kHz |
| 指示部 | 0～100 % / 10 分割 LED | |
| 動作温度範囲 | 0 ～+40 ℃ (精度保障範囲：23±2 ℃） | |
| 使用電源 | DC ±15 V、100 mA | |
| 外形寸法 | 56 （W）×42.4（H） ×122（D） mm （突起部含まず） | |
| 質量 | 約 500 g | |
| 価格 | （税込 ） | （税込 ） |
* F.S.（フルスケール）：VEセンサーの最大測定範囲です
VEシリーズ静電容量式ギャップディテクタ
標準タイプ
| 型名 | VE-5010 | VE-1020 | VE-1520 | VE-3020 | VE-8020 |
|---|---|---|---|---|---|
| 測定範囲（μm）※1 | 50～500 | 100～1000 | 150～1500 | 300～3000 | 800～8000 |
| 外形（mm）※2 | Φ6 | Φ8 | Φ10 | Φ20 | Φ40 |
| ケーブル長 | 1.5m（ケーブル一体型） | 別売 VL-1520/VL-1521 ケーブル（1.5m） | |||
| 温度係数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | ||||
| 使用温度範囲※3 | 0～+80 ℃ | ||||
| 価格 |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
Φ10mm 共通クランプ形状タイプ
| 型名 | VE-2011 | VE-5011 | VE-1021 | VE-8021 |
|---|---|---|---|---|
| 測定範囲（μm）※1 | 20～ 200 | 50～500 | 100～1000 | 800～8000 |
| 外形（mm）※2 | Φ3 | Φ6 | Φ8 | Φ40 |
| ケーブル長 | 別売 VL-1520/VL-1521 ケーブル（1.5m） | |||
| 温度係数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | |||
| 使用温度範囲※3 | 0～+80 ℃ | |||
| 価格 |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
※1 測定範囲とは、センサー端面から測定対象物までの最大ギャップを表わします。
※2 測定対象物の測定面は、センサー外径より大きい面積が必要になります。
※3 使用温度範囲とは、センサーとして動作可能な温度範囲であり、直線性が保証される温度範囲ではありません。直線性を確保するためには23±2℃の温度でご使用ください。
別売信号ケーブル
| VL-1520（両端ストレートタイプコネクター） 価格 （税込 ） |
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| VL-1521（L型コネクター-ストレートタイプコネクター） 価格 （税込 ） |
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関連情報
最終更新日:2016/09/02