非接触厚さ計 関連機器 概要

VE シリーズギャップディテクタは、センサーと被測定物の静電容量から、ギャップ（変位）を測定表示するものです。静電容量 C は導体の対向面積 S 、ギャップ D などの関数となっています。
対向導体（センサーと測定対象）が平行平板であるときに図のように表わされ、静電容量からギャップを測定します。以前よりこの考え方はありましたが、C とD とが反比例の関係にあることや、静電容量が微小であることから、広い測定範囲や安定性を得ることが困難でした。
当社では、新しい回路方式により、これらの欠点を解決し、さらに高精度で優れた安定性を実現しました。

■導体・半導体を測定する場合

導体を測定する場合2つのセンサーを被測定物に対し測定範囲内でかつ平行に設置します。
この2つのセンサー間隔 (Gs) を CL-5610シリーズ に設定します。
センサー A、B 間に被測定物を挿入して各々のセンサー−被測定物のギャップ (Ga、Gb) を測定して、厚さ (t) を求めます。

■絶縁体を測定する場合（CL-0300オプション ）

センサーと導体（基準床）の間隔（Gs）をCL-5610シリーズ に設定します。センサーと導体（基準床）間に被測定物を挿入するとセンサーの出力は Ga となり、このセンサー出力変化分と比誘電率εr から厚さ（t）を求めます。
（CL-0300絶縁体測定機能）

εr： 比誘電率（真空の誘電率を１としたときの被測定物の誘電率を比誘電率という。