在此测量应用中需要在测量台上下设置2个传感器。
使用高稳定型静电容量式微小位移传感器（间隙检测方式），实现非接触，高精度厚度测量。根据测量对象与被测物的形状的不同，共有10种类型的传感器与厚度计（CL系列）或位移计（VT系列）配套组合，可提供最符合用途需要的测量系统。
汽轮机，电动机，压缩机，机床等机械的转动轴的轴振动或面的波动测量，移动中物体的厚度，宽度的测量与控制方面是非常有效的测量工具。不仅可以测量位移量，偏曲量，弯曲量等也可以测量或用于相应的控制系统。
静电容量式微小位移传感器（间隙检测式）
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 测量范围：50 ～ 500 μm 外形：φ6 电缆长度：1.5 m |
测量范围：100 ～ 1000 μm 外形：φ8 电缆长度：1.5 m |
测量范围：150 ～ 1500 μm 外形：φ10 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：300 ～ 3000 μm 外形：φ20 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：800 ～ 8000 μm 外形：φ40 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
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| Ø 10 mm通用基柱配套型 | |||||||||||
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测量范围：20 ～200 μm 外形：φ3（先端） 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：50 ～500 μm 外形：φ6（先端） 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：100 ～1000 μm 外形：φ8（先端） 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：800 ～8000 μm 外形：φ40（先端） 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
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非接触厚度计（静电容量式）
CL-5610系列是配套VE系列静电容量式传感器，可测量导体，半导体以及绝缘体的非接触厚度计。静电容量式传感器用途广泛测量稳定，可简单地进行高精度厚度测量。
CL-5610系列如配套2个VE系列静电容量式传感器，可测量导体，半导体的厚度（标配功能），使用1个VE系列静电容量式传感器，可测量绝缘体的厚度（选配功能CL-0300）。
CL-5610与VE系列静电容量式传感器的设置标准距离为1.5 m，如使用CL-5610S设置距离可达到11.5 m。
测量例1：胶片的非接触厚度测量(胶片移动中测量)
* 需要CL-0300选配功能
测量例2：钢板轧制工序时的非接触钢板厚度测量
| 非接触厚度计 | |||||||||||||
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非接触位移计（静电容量式）
测量例 转动轴振动偏芯的非接触测量
导体，半导体的位移测量
VT系列包括有使用交流电源的VT-5200系列适合于试验研究的测试，还有使用直流±15 V电源的小型VT-5700系列适合于生产线以及组合到各种测试设备中使用。
同时，输出响应频率有4 kHz和10 kHz两种，可根据使用目的进行选择。
| 非接触位移计 | |||||||||||
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输出：0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直线性：±0.2 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 输出响应频率：DC ～ 4 kHz 监视表示：20个LED比例表示 可设置输出电压偏移量 |
输出：0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直线性：±0.25 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 输出响应频率：DC ～ 10 kHz 监视表示：20个LED比例表示 可设置输出电压偏移量 |
输出：0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直线性：±0.2 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 输出响应频率：DC ～ 4 kHz 监视表示：10个LED比例表示 |
输出：0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直线性：±0.25 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 输出响应频率：DC ～ 10 kHz 监视表示：10个LED比例表示 |
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* F.S.（全量程）：VE传感器的最大测量范围
信号电缆
| VL-1520 电缆长度1.5 ｍ （两端直型接头） |  |
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| VL-1521 电缆长度1.5 ｍ （L型接头 - 直型接头） |  |
Revised:2010/3/15
