非接触测厚仪及相关设备简介
静电容量式微小位移传感器测量原理
非接触测厚仪测量原理
■ 導测量导体・半导体时
测量导体时，两个传感器应平行安装，并位于测量范围内。
将这两个传感器间的间距(Gs)设置到CL-7100系列。
将被测物插入传感器A与B之间，分别测量传感器与被测物的间隙(Ga、Gb)，由此计算厚度(t)。
■ 测量绝缘体时（CL-0740 选配功能）
将传感器与导体(基准床)之间的间距(Gs)设置到CL-7100系列。
当在传感器与导体(基准床)之间插入被测物时，传感器的输出为Ga，并根据该输出变化量及材料的相对介电常数 εr 来计算厚度(t)。
（CL-0740 绝缘体测量功能）
