静電容量式微少変位検出器
VEシリーズ
VEシリーズは、金属等の導電体とセンサーとの距離を高精度で非接触に測定可能な微小変位・振動検出器です。タービン、電動機、コンプレッサといった回転機の軸振動や面振れ、移動中物体の厚さや幅の測定・制御などに威力を発揮します。変位量の測定はもちろん、たわみ量、反り量の測定・制御用として幅広い応用が可能です。
非接触検出のため、回転あるいは振動物体に負荷をかけず、そのうえ振動モードを変えることもありません。
測定範囲 20μm～8 mm 用まで9種類のセンサーを用意。測定体が金属の場合は、材質を変更してもセンサーを再校正せずに測定できます。
VEシリーズは、VT-5200/VT-5700 シリーズ静電容量式非接触変位計または CL-5610 シリーズ静電容量式非接触厚さ計と組み合わせて使用します。
静電容量式非接触変位計 VT-5200シリーズ
静電容量式非接触変位計 VT-5700シリーズ
静電容量式非接触厚さ計 CL-5610シリーズ
特長
- 測定対象物の色・粗さ・反射率および外光等の影響を受けません。
- 非接触で測定するため、測定対象物に影響を与えません。
- センサーの構造が単純で耐久性にすぐれ、広い使用条件範囲が得られます。
- 測定対象が導電体であれば材質を変更しても再校正せずに測定可能です。
（金属の他に、シリコン・カーボン・水面等の測定可能）
構成
VEシリーズセンサーは、VT-5200/VT-5700 シリーズ専用変換器またはCL-5610 シリーズ静電容量式非接触厚さ計と組み合わせて使用します。測定対象物や測定精度は使用される変換器・厚さ計により異なります。詳細は各製品ページを参照ください。
VT-5200 シリーズ 静電容量式非接触変位計
VT-5700 シリーズ 静電容量式非接触変位計
CL-5610 シリーズ 静電容量式非接触厚さ計
＊VEシリーズセンサーは、個体偏差を変換器で補正しています。このため、センサーと変換器は一対一で校正しています。他のセンサー（同型を含む）と交換する場合は、再校正が必要です。
測定可能なもの
測定対象物の材質が導電体であれば測定可能です。導電体には次のようなものがあります。
| 金属板 | 鉄、アルミ、ステンレス等の金属。 |
|---|---|
| シリコンウェハー | 金属板と同様に測定できます。 |
| 銅箔基板 | エッチング前の両面銅箔基板の厚さを測定できます。 |
| ペースト状のもの | 焼成前の電池の極板などペースト状のもの。 |
| カーボン系の板 | ガスケット材などでカーボン系の材料を多く含むもの。 |
測定に注意が必要なもの
| アルマイト | アルマイト加工されたアルミ板は、表面に絶縁膜があり測定が不安定になる場合があります。 |
|---|---|
| 塗装されたもの | 絶縁体の塗料を塗装された場合、測定値に誤差を含みます。 |
| 丸いもの | VE センサーは、測定対象物として平面を前提としているので、曲面の場合は誤差が生じることがあります。 |
| 表面が粗いもの | 表面が粗いものを測定すると、接触式の測定器による測定値に比べて薄くなります。 本器による測定は、表面凹凸のほぼ平均となります。また、表面が非常に粗い場合は測定できない可能性があります。 |
| 多孔質のもの | 測定対象物が多孔質の場合、その開孔率によっては薄く測定されます。 |
絶縁体の測定
測定対象物が絶縁体の場合は、CL-5610 シリーズ静電容量式非接触厚さ計に CL-0300 絶縁体測定機能ソフトウェアオプションを追加することで、絶縁体（硝子、サファイア、水晶、プラスチック、プラスチックフィルムなど）の厚さも高精度に測定することができます。
概略仕様
標準タイプ
| 型名 | VE-5010 | VE-1020 | VE-1520 | VE-3020 | VE-8020 |
|---|---|---|---|---|---|
| 測定範囲（μm）※1 | 50～500 | 100～1000 | 150～1500 | 300～3000 | 800～8000 |
| 外形（mm）※2 | Φ6 | Φ8 | Φ10 | Φ20 | Φ40 (保持部Φ20) |
| ケーブル長 | 1.5m（ケーブル一体型） | 別売 VL-1520/VL-1521 ケーブル（1.5m） | |||
| 温度係数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | ||||
| 使用温度範囲※3 | 0～+80 ℃ | ||||
| 価格 |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
Φ10mm 共通クランプ形状タイプ
| 型名 | VE-2011 | VE-5011 | VE-1021 | VE-8021 |
|---|---|---|---|---|
| 測定範囲（μm）※1 | 20～ 200 | 50～500 | 100～1000 | 800～8000 |
| 計測部外形（mm）※2 | Φ3 (保持部Φ10) |
Φ6 (保持部Φ10) |
Φ8 (保持部Φ10) |
Φ40 (保持部Φ10) |
| ケーブル長 | 別売 VL-1520/VL-1521 ケーブル（1.5m） | |||
| 温度係数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | |||
| 使用温度範囲※3 | 0～+80 ℃ | |||
| 価格 |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
※1 測定範囲とは、センサー端面から測定対象物までの最大ギャップを表わします。
※2 測定対象物の測定面は、センサー外径より大きい面積が必要になります。
※3 使用温度範囲とは、センサーとして動作可能な温度範囲であり、直線性が保証される温度範囲ではありません。
直線性を確保するためには＋23 ℃±2 ℃の温度でご使用ください。 VEシリーズの温度特性に関しては次を参照ください。
別売信号ケーブル
| VL-1520（両端ストレートタイプコネクター） 価格 （税込 ） |
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| VL-1521（L 型コネクター-ストレートタイプコネクター） 価格 （税込 ） |
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温度特性 |
ΔＤ≒ (K1×l + K2×D) Δt
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関連情報
最終更新日:2016/09/02