お客様視点で、新価値商品を
お客様視点で、新価値商品を
CL-5610/5610S は、ギャップディテクタ VEシリーズセンサと接続して、導体や半導体、絶縁体の厚みを計測する非接触厚さ計です。VE シリーズセンサを２個まで接続することが出来ます。また、2 ch のギャップ計測器としても使用できます。
CL-5610 はセンサ用アンプを本体に内蔵し、VE センサを厚さ計本体に直接接続して使用します。デスクトップでのオフライン計測に適しています（センサと本体間のケーブルは 1.5 m で延長は出来ません）。
CL-5610S はセンサ用アンプを外部に独立させ、VE センサと厚さ計本体を離して使用します。本体と外部アンプ間のケーブル長は標準で 2.5 m、オプションにて最大 10 mまで延長可能です。装置への組込など、センサ設置位置と厚さ計本体を離して設置する場合に適しています。
豊富な計測項目
厚みとギャップを計測できます。また、それぞれに対し、偏差値・最大値・最小値・最大幅値（最大−最小）の演算値も表示出来ます。
導体・半導体の他、絶縁体の厚みも測定可能
CL-0300
絶縁体測定機能（オプション）により、薄いプラスチックフィルムやガラス板などの絶縁体の厚みを計測することができます。
導通が完全に取れないサンプルなども安定した厚み計測が可能
サンプルをフッ素系膜でコーティングしたテーブルで保持する場合などは、サンプルと本体（コモン）間の導通を取ることが困難でした。これまでは、広い面積でサンプルと接触させることで安定性を確保する必要がありましたが、CL-0210
高インピーダンス接地モード機能（オプション）により、その面積を小さくすることができます。また、同面積に於いてはより高い安定性を確保することができます。
高分解能演算機能オプション(CL-0200)で最小表示分解能 0.02 μｍ を実現＊1
＊1： VE-2011/5010/5011 使用時。VE-5010/5011 は、CL-0201
測定範囲変更オプションで、測定範囲を 20 ～ 200 μm にした場合に適用
センサの校正値を最大６種まで保存可能
CL-5610 シリーズは、センサの校正情報を最大６個まで保存することが可能なため、計測範囲と分解能に合わせて最適なセンサを選んで使用することができます。
PLC や PC に連続的にデータを取り込むことが可能
データ出力機能として、アナログ電圧出力、BCD 出力、RS-232C の３種類を用意しました。お客様の記録装置に合わせて出力を選ぶことができます。アナログ出力とBCD 出力はデータ更新間隔 20 ms でデータを取り出すことが出来ます。サンプルを移動させながら計測することで、シートの厚み斑検出に必要な連続厚み値を計測することもできます。
※アナログ出力は出力機能オプション(CL-0110)、BCD出力はBCD出力機能オプション（CL-0120)が必要です。
本器を外部からコントロールすることが可能
製造・検査ライン等で自動計測するには、本器を外部からコントロールすることが必要になります。CL-5610 は、接点によるコントロール端子と RS-232C 端子を標準で装備していますので、PLC や PC から簡単にコントロールすることができます。
コンパレータ機能（CL-0110 出力機能オプション装着時）により、オンラインでの異常値監視に使用可能
測定サンプル例 |
導体・半導体 |
絶縁体 |
|---|---|---|
シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金属板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。 |
ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどプラスチック類。 |
測定方法
導体・半導体を測定する場合 |
絶縁体を測定する場合（オプション） |
|
|
|
測定例
概略仕様
| 計測対象 | 導体、半導体、絶縁体 ＊1 ＊1 CL-0300 絶縁体測定機能オプションが必要です。 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| センサ入力 | 2チャンネル（A、B）静電容量式センサ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
測定項目 |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
表示モード |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
適合センサと表示分解能 |
新型 VE シリーズ静電容量式ギャップディテクタとの組合せにより、次の表示分解能となります。
＊1：VE-5010/5011 は、CL-0201 測定範囲変更オプションにより測定範囲を 20 ～ 200 μm に指定することができます。その際の高分解能オプション装着時の表示分解能は 0.02 μｍ となります。 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 精度 | ±0.15 %/F.S.(標準) ±0.12 %/F.S.(CL-0200高分解能演算機能オプション装着時＜VE-8020/8021を除く＞） |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 精度保証温度範囲 | 23℃ ± 2℃ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 表示部 | 蛍光表示管 測定結果の表示は１項目（大文字）／２項目（小文字）の切替可能 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
パラメータ設定 |
測定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、内部メモリーに設定します。これらの設定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
サンプリング時間 |
20 ms |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
| アベレージング | 移動平均：1 ～ 64 回 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| インタフェース | RS-232C：本器のリモートコントロール、および計測データの取り込みが可能。DPU-414 プリンタ（別売）に印字可能 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| BCD 出力機能 （オプション：CL-0120） |
計測結果を 6 桁パラレル BCD で出力 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
| リモート機能 | 外部から演算機能の開始／停止、厚さ校正などの操作可能
※適合コネクタ：R03-PB8M（多治見無線製） |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
| SYNC機能 | CL-5610／CL-5610S を複数台並列同期運転可能(マスタ1台に対し2台まで)*1 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
電源 |
AC 100V ～ 240V 50／60 Hz |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
使用環境（本体のみ） |
温度：＋23 ℃±2 ℃（精度保証範囲）、0 ℃～＋40 ℃（使用範囲） |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
外形寸法 |
210（W）×99（H）×275（D）mm（CL-5610/5610S 本体 突起部含まず） |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
質量 |
約 4.2 kg（CL-5610/5610S 本体） |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
価格 |
CL-5610：
（税込
） |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
*1 SYNC機能を使用するには機器同士の調整が必要です。ご希望の場合は別途お問い合わせ下さい。
オプション
CL-0110 出力機能（アナログ出力、コンパレータ出力）
| アナログ出力 | 端子数：3（SENSOR A、SENSOR
B、A-OUT) ●SENSOR A、SENSOR B 出力項目 ：SENSOR A および SENSOR B の GAP 値 （ギャップディテクタからのアナログ出力をそのまま出力） 出力電圧 ：5 V/F.S.（オフセット[-5 ～ 0 V]機能付き） 出力精度 ：±0.25 %/F.S.（精度保証は A、B それぞれ１つのセンサに限られます） 応答周波数：DC ～ 4ｋHz ●A-OUT 出力内容 ：THICK、GAP A、GAP B、A-B より選択 出力電圧 ：-5 ～ 0 ～ +5 V 出力精度 ：±0.25 %/F.S 出力更新間隔：20 ms |
||
|---|---|---|---|
| コンパレータ機能 | 出力数 ：3（COMP1、COMP2、COMP3）
●ALL モード：３つの出力に「上限オーバー」「OK（範囲内）」「下限オーバー」 |
||
| 価格 | （税込 ） |
CL-0120 BCD出力機能
| 出力方式 | 6 桁パラレル BCD、オープンコレクタ出力 |
|---|---|
| 出力項目 | THICK、GAP-A、GAP-B、A−B、DISP 2 より選択 |
| 更新間隔 | 20 ms |
| 適合ケーブル | AA-8207（3 m、片側オープン） |
| 価格 | （税込 ） |
CL-0201 VE-5010/5011 測定範囲変更オプション
| CL-0200 高分解能演算機能オプションを組込むことで VE センサの分解能と直線性を高めます | |
| 価格 | （税込 ） |
CL-0210 高インピーダンス接地モード機能
| 接地抵抗が大きな計測条件でも安定した計測が行えます。 | |
| 価格 | （税込 ） |
CL-0300 絶縁体測定ソフトオプション
| CL-0300 絶縁体測定ソフトオプションを組込むことで CL-5610/5610S で絶縁体の厚さ計測が可能となります | |
| 価格 | ￥150,000（税込￥157,500） |
CL-015 ウェーハ用スライドテーブル（受注生産）
|
CL-015 は、CL-5610/5610S と VE センサ（保持部φ10） とを組み合わせて、シリコンウェーハなどの
半導体・導体ウェーハの厚さを非接触測定するための簡易型手動式スライドテーブルです。真空吸着ピンセットが使いやすいように、ウェーハを乗せる盤面に切り溝をつけてあります。
対象ウェーハ 外径：100 ～ 150 mm 厚さ：0.1 ～ 1 mm その他、200 mm、300 mm等 特注テーブル製作可能です。 |
| 価格 | （税込 ） |
VEシリーズ静電容量式ギャップディテクタ
標準タイプ| 型名 | VE-5010 | VE-1020 | VE-1520 | VE-3020 | VE-8020 |
|---|---|---|---|---|---|
| 測定範囲（μm）※1 | 50 ～ 500 | 100 ～ 1000 | 150 ～ 1500 | 300 ～ 3000 | 800 ～ 8000 |
| 外形（mm）※2 | φ6 | φ8 | φ10 | φ20 | φ40 |
| ケーブル長 | 1.5m（ケーブル一体型） | 別売 VL-1520/1521 ケーブル（1.5m） | |||
| 温度係数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | ||||
| 使用温度範囲※3 | 0 ～ +80 ℃ | ||||
| 価格 |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
φ10mm 共通クランプ形状タイプ
| 型名 | VE-2011 | VE-5011 | VE-1021 | VE-3021 |
VE-8021 |
|---|---|---|---|---|---|
| 測定範囲（μm）※1 | 20 ～ 200 | 50 ～ 500 | 100 ～ 1000 | 300 ～ 3000 | 800 ～ 8000 |
| 外形（mm）※2 | φ3 | φ6 | φ8 | φ20 | φ40 |
| ケーブル長 | 別売 VL-1520/1521 ケーブル（1.5m） | ||||
| 温度係数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | ||||
| 使用温度範囲※3 | 0 ～ +80 ℃ | ||||
| 価格 |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
（税込 ） |
最終更新日:2017/06/12
