この製品は販売終了しました。関連代替製品はこちら


微小物体多点振幅計測システム

レーザドップラ振動計と顕微鏡ユニット、高精度 XY ステージを融合した微小物体多点振幅計測システム(受注生産品)です。

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems )や圧電デバイスなどをプローブニードル(プローブ針)で触れた状態のまま、レーザドップラ振動計と顕微鏡ユニットを高精度 XY ステージで移動して 、多点部位の振幅検出が可能です。

顕微鏡ユニットはレーザドップラ振動計の微小焦点化、CCTV による高倍率の対象観察および照明を同軸で実現。 φ 2.0 μm 以下に絞ったレーザ光と、2 μm 以内のステージ繰り返し位置決め精度でスピーディかつ高精度に、多数の検出ポイントの計測が可能です。

 

 

特長

  • レーザドップラ振動計+顕微鏡&照明ヘッドが高精度で移動

  • 計測対象は固定、 プローブニードルで触れた状態のまま振幅計測可能


概略仕様

顕微鏡ユニット
フォーカスユニット 方式 手動による粗動・微動
上下ストローク ±25 mm
粗動ストローク 4 mm/回転
微動ストローク 0.1 mm/回転
微動最小目盛 1 μm/1 目
レボルバ 対物レンズ2本装着可能
照明 方式 ハイパワー LED スポット照明による同軸落射
消費電力 約 1.5 W
対物レンズ 2.5 倍対物レンズ
 作動距離 32.3 mm
 スポットサイズ 13 μm 以下
 視野 約 2.5 mm(H)× 2.0 mm(V)
20 倍対物レンズ
 作動距離 22.5 mm
 スポットサイズ 2.0 μm 以下
 視野 約 0.3 mm(H)× 0.2 mm(V)
CCTVカメラ 影像素子 1/2 インチインターライン CCD
画素数 768(H)× 494(V)
ビデオ出力 NTSC 出力
消費電力 約 8 W

電動 XY ステージシステム
自動XYステージ ストローク ±5 mm
分解能 0.01 μm/step
繰り返し位置決め精度 2 μm 以内
手動Zステージ(粗微動) ストローク (フォーカスユニットと同様)
手動XYステージ(粗微動) ストローク ±80 mm
定盤 サイズ 800 mm × 600 mm、M6-25 mm マトリックス
水平維持 メカニカルバルブによる自動式
供給圧力 0.25 ~ 0.7 MPa、供給部は φ 6 mm チューブ

LV-0910振動解析ソフトウェア
XYステージ対応形状定義 節点数 1000 点
自由度方向 1節点につき3方向の計測が可能
入力方式 テージ対応
ステージ制御部
(形状定義データに基づいてステージを制御)
Xステージの状態表示 有り
Yステージの状態表示 有り
インデックス増分 有り
スキャンスピード 設定可能
電気原点設定 有り
電気原点検出 電気原点設定した位置に戻す事が可能

※記載、および未記載の仕様については、ご相談の上決定とさせていただきます。

※自動計測するには DS-3000 シリーズ データステーション等のシステムが必要になります。



お問い合わせフィードバックフォーム

お客様相談室




Copyright © ONO SOKKI CO.,LTD All Rights Reserved. | 当サイトのご利用にあたって| 個人情報保護方針