MEMS(Micro Electro Mechanical Systems )や圧電デバイスなどをプローブニードル(プローブ針)で触れた状態のまま、レーザドップラ振動計と顕微鏡ユニットを高精度 XY ステージで移動して 、多点部位の振幅検出が可能です。
顕微鏡ユニットはレーザドップラ振動計の微小焦点化、CCTV による高倍率の対象観察および照明を同軸で実現。 φ 2.0 μm 以下に絞ったレーザ光と、2 μm 以内のステージ繰り返し位置決め精度でスピーディかつ高精度に、多数の検出ポイントの計測が可能です。
特長
レーザドップラ振動計+顕微鏡&照明ヘッドが高精度で移動
計測対象は固定、 プローブニードルで触れた状態のまま振幅計測可能
概略仕様
顕微鏡ユニットフォーカスユニット | 方式 | 手動による粗動・微動 |
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上下ストローク | ±25 mm | |
粗動ストローク | 4 mm/回転 | |
微動ストローク | 0.1 mm/回転 | |
微動最小目盛 | 1 μm/1 目 | |
レボルバ | 対物レンズ2本装着可能 | |
照明 | 方式 | ハイパワー LED スポット照明による同軸落射 |
消費電力 | 約 1.5 W | |
対物レンズ | 2.5 倍対物レンズ | |
作動距離 | 32.3 mm | |
スポットサイズ | 13 μm 以下 | |
視野 | 約 2.5 mm(H)× 2.0 mm(V) | |
20 倍対物レンズ | ||
作動距離 | 22.5 mm | |
スポットサイズ | 2.0 μm 以下 | |
視野 | 約 0.3 mm(H)× 0.2 mm(V) | |
CCTVカメラ | 影像素子 | 1/2 インチインターライン CCD |
画素数 | 768(H)× 494(V) | |
ビデオ出力 | NTSC 出力 | |
消費電力 | 約 8 W |
自動XYステージ | ストローク | ±5 mm |
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分解能 | 0.01 μm/step | |
繰り返し位置決め精度 | 2 μm 以内 | |
手動Zステージ(粗微動) | ストローク | (フォーカスユニットと同様) |
手動XYステージ(粗微動) | ストローク | ±80 mm |
定盤 | サイズ | 800 mm × 600 mm、M6-25 mm マトリックス |
水平維持 | メカニカルバルブによる自動式 | |
供給圧力 | 0.25 ~ 0.7 MPa、供給部は φ 6 mm チューブ |
XYステージ対応形状定義 | 節点数 | 1000 点 |
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自由度方向 | 1節点につき3方向の計測が可能 | |
入力方式 | テージ対応 | |
ステージ制御部 (形状定義データに基づいてステージを制御) |
Xステージの状態表示 | 有り |
Yステージの状態表示 | 有り | |
インデックス増分 | 有り | |
スキャンスピード | 設定可能 | |
電気原点設定 | 有り | |
電気原点検出 | 電気原点設定した位置に戻す事が可能 |
※記載、および未記載の仕様については、ご相談の上決定とさせていただきます。
※自動計測するには DS-3000 シリーズ データステーション等のシステムが必要になります。