リニアゲージセンサ動作原理

(図1)

 

イラスト(リニアゲージセンサの動作原理2)

イラスト(リニアゲージセンサの動作原理1)

(図2)

リニアゲージはリニアゲージセンサ(検出器)とディジタルゲージカウンタ(表示器)から構成されています。

 

リニアゲージセンサには、スピンドルと一体になって移動する移動スリットと一定位置に固定された固定スリットが対向して配置されています。 スリットには一定間隔で明暗の目盛が印刷されています。 計数にはスピンドルの移動方向(+、−方向)を判別する必要があるため、A、B の2つの固定スリットは A に対して B が 1/4P (ピッチ)ずれた位置に配置されています。

これらのスリットを挟んで、光源(LED)と受光素子が向かい合っています。(図1)

 

移動スリットが固定スリットに対して移動すると、固定スリットの窓を通過する光は、明暗を繰返します。 この時、同じ周期で 90゜ の位相差を持つ2つの方形波信号が出力されます。 その位相の進みまたは遅れから方向判別し、カウンタで加算・減算を行い計数し、変位量を測定します。(図2)

 

リニアゲージセンサの出力信号は 1P (ピッチ)= 4 μm ( 1 μm 分解能 タイプ)または、1P (ピッチ)=40 μm ( 10 μm 分解能タイプ)ですが、 ディジタルゲージカウンタで 4 逓倍することにより 1P (ピッチ)の 1/4 の測定分解能(1μm または 10μm )が得られます。 (HSシリーズは除きます)

*GS-7000シリーズは1P (ピッチ)=2 μm になっています。


リニアゲージセンサ等の用途別構成事例と概算

 

最終更新日:2009/3/20



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