数字式位移传感器工作原理

数字式位移传感器工作原理

(图1)

(图2)

 

数字式位移尺规由数字式位移传感器与计数表示器配套组成。

 

数字式位移传感器,其测量杆部与移动光栅固定相连,移动光栅与测量杆部同时移动,与移动光栅相隔一定位置设有固定光栅。各光栅按一定间隔印刷有明暗刻度。为了便于根据测量杆移动的方向(+,-方向)进行计数,A与B两个固定光栅,其中B光栅比较A光栅偏移1/4P(波长)。

光源透过固定与移动2个光栅投射到感光元件。(图1)

 

如果移动光栅相对应固定光栅产生移动,通过固定光栅的光将会产生明暗的交替变化。此时可以得到2个同周期相位相差90゜的方波信号,根据信号间相位的超前或滞后,即可判断出测量杆移动的方向,进行计数的加,减计算得到测量的位移量。(图2)

 

数字式位移传感器的输出信号的1P(波长)有为4 μm(分辨率为1 μm型号)或40 μm(分辨率为10 μm型号)类型。计数器按4增倍处理,可将1P(波长)分为4份计算,即可得到1/4P的测量分辨率(1 μm或10 μm)。(不包括HS系列)

*GS-7000系列的1P(波长)为2 μm

 


Revised:2009/3/20

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