導体

材質、表面状態は問いません。線抵抗率数キロΩ／cm以下の物はそのまま測ることができます。また、絶縁体でも表面が導体で覆われているものは、全厚みを測ることができます。

　

半導体

シリコン系のウェハなどは問題有りませんが、ガリウムヒ素系やサファイア系は、抵抗率によって測れる物、測れない物があります。ご相談ください。

絶縁体

ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのプラスチック類。 （全体が均一な性質の単一材料で構成される薄い物が測定対象となります。）