静電容量式厚さ計・変位計での計測値の再現性は?

CL-5600 シリーズ 厚さ計でのシリコンウェハ厚さ計測例を示します。サンプルをしっかり保持することにより、非常に良い計測再現性を得ることが出来ます。シリコンウェハの場合、通常吸引エアーにて測定テーブルに固定します。


使用機器
  • ギャップセンサ:VE-1020

  • 厚さ計:CL-5600(表示分解能:0.1μm[VE-1020使用時])

  • 測定テーブル:CL-015の真空吸着機構オプション付きテーブル

  • 測定サンプル  シリコンウェハ(5枚)
    測定ポイント  ウェハ中心部


    CL-015 ウェハ用スライドテーブル
    (真空吸着機構オプション付き)

     



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