静電容量式厚さ計・変位計 よくあるご質問
CL-5600 シリーズ 厚さ計でのシリコンウェハ厚さ計測例を示します。サンプルをしっかり保持することにより、非常に良い計測再現性を得ることができます。シリコンウェハの場合、通常吸引エアーにて測定テーブルに固定します。
| 使用機器 |
ギャップセンサー：VE-1020 厚さ計：CL-5600（表示分解能：0.1μｍ［VE-1020使用時］） 測定テーブル：CL-015の真空吸着機構オプション付きテーブル |
|---|---|
| 測定サンプル | シリコンウェハ（5枚） |
| 測定ポイント | ウェハ中心部 |
CL-015 ウェハ用スライドテーブル
（真空吸着機構オプション付き）
