金属やカーボン等の電気が流れる導体と、シリコンウェハなどの半導体の【変位】、および２つのセンサーを使うことで【厚み】を計測できます。

 

また、薄いフィルムやガラスウェハなどの、絶縁体の【厚み】も計測できます。