VE シリーズ ギャップディテクタは何を測ることが出来ますか?

金属やカーボン等の電気が流れる導体と、シリコンウェハなどの半導体の【変位】、および2つのセンサを使うことで【厚み】を計測できます。

導体 金属、導電性フィルム、カーボンなど
半導体 シリコンウェハなど

 

また、薄いフィルムやガラスウェハなどの、絶縁体の【厚み】も計測できます。

 

絶縁体 ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのプラスチック類
(全体が均一な性質の単一材料で構成される薄い物が測定対象となります。)



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