静電容量式厚さ計・変位計で導体・半導体の厚みを測る際、何故基準片での校正が必要なのですか?

静電容量式厚さ計・変位計 CL シリーズでは、ギャップ測定値から厚さを計算しています。
2つのセンサ間の距離が分からないと、ギャップ値から厚みを計算できないため、センサ間のギャップを決めるために基準片での校正が必要になります。

 

● 校正から厚み測定までの流れ

  • 基準片を入れてそこまでの距離(1)をそれぞれのセンサが計測します。

  • 基準片の厚さとセンサの計測結果からセンサ間の距離(2)を求めます。

  • 測定対象物を挿入し距離(3)を測定します。

  • 測定した距離から測定対象物の厚さ(4)を計算して求めます。

  •  

     

    測定できる厚さはセンサの固定位置を変えることで自由に設定できます。 従って、厚さがあるものでも高分解能での測定が可能です。



    お問い合わせフィードバックフォーム

    お客様相談室




    Copyright © ONO SOKKI CO.,LTD All Rights Reserved. | 当サイトのご利用にあたって| 個人情報保護方針