静電容量式厚さ計・変位計で導体・半導体の厚みを測る際、何故基準片での校正が必要なのですか?

静電容量式厚さ計・変位計 CL シリーズでは、ギャップ測定値から厚さを計算しています。
2つのセンサー間の距離が分からないと、ギャップ値から厚みを計算できないため、センサー間のギャップを決めるために基準片での校正が必要になります。

 

● 校正から厚み測定までの流れ

  • 基準片を入れてそこまでの距離(1)をそれぞれのセンサーが計測します。

  • 基準片の厚さとセンサーの計測結果からセンサー間の距離(2)を求めます。

  • 測定対象物を挿入し距離(3)を測定します。

  • 測定した距離から測定対象物の厚さ(4)を計算して求めます。

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    測定できる厚さはセンサーの固定位置を変えることで自由に設定できます。 従って、厚さがあるものでも高分解能での測定が可能です。



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