静電容量式厚さ計・変位計では導体・半導体の厚みをどのように測るのでしょうか?

VE シリーズ ギャップディテクタはギャップを計測するセンサですが、2つの VE センサを使うことで厚みを計算することが出来ます。

下図のように、2つの VE センサを測定対象物を挟み込むように設置します。 2つの VE センサはギャップ値(GaGb)を計測しますが、センサ間の距離(GS)が分かっていれば、測定対象物の厚み(t)を計算できます。

 

 

なお、VE センサ間の距離は、基準片を入れてギャップ値を計測することで求められます。詳しくは、「 静電容量式厚さ計・変位計で導体・半導体の厚みを測る際、何故基準片での校正が必要なのですか?」を参照ください。



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