静电容量式非接触测厚仪
CL-7100 系列 出口管制产品
作为畅销产品“CL-5610系列”的后续机型，
“CL-7100系列”在测量精度和响应性能方面实现大幅提升。
同时支持选配温度测量、以太网通信等新功能。
可对应硅晶圆、电磁钢板、电动车电池用薄膜等多种材料，
并可通过与多种位移传感器配套使用，
实现高精度厚度测量并提升检测效率。
特长
非接触测量
无需与被测物接触，即可实现高度的重复性。
高精度・高响应的测量性能
与现有产品相比，可实现更高精度的测量（±0.05 %FS～±0.12 %FS，取决于所配套的传感器），运算周期由20 ms缩短至10 ms。
支持多点连续测量及高速产线，在缩短检测时间的同时，并实现高品质测量。
温度测量与补偿功能、网络联动（选配功能）
可通过PT-100 温度传感器测量环境温度。通过在厚度测量的同时获取温度数据，对温度变化引起的测量误差进行补偿，实现更高精度的测量。
此外，支持以太网通信，可通过网络实现集中管理、数据收集及远程监控。
直观易操作的彩色液晶触摸屏
采用高可视性的彩色液晶屏和清晰的菜单设计，可快速获取所需信息。位移、厚度、温度等最多四项测量数据可同时显示在同一画面上，无需切换，即可直观查看多项信息，轻松确认测量状态。
同时支持硬按键操作，即使戴着手套，也能在各种现场环境下稳定且舒适地操作。
小型、轻量、低功耗设计
通过小型轻量化设计，体积和重量较现有产品减少约50%。同时，低功耗特性可降低环境负荷，有助于实现碳中和目标。
通过比较器功能（需配备CL-0731或CL-0732选配），可在线监控异常值
| 被测物 |
导体・半导体 |
绝缘体 |
|---|---|---|
| 硅晶圆、钢板、铝板、硬盘、印刷电路板，以及其他对清洁度有要求的材料、柔软材料、镜面材料或易划伤的材料。 | 玻璃、聚乙烯、聚丙烯等塑料材料。 （测量对象为整体性质均一的单一材料薄片。） |
※除了上述测量样品外，如需测量中间材质或复合材质，请咨询。
系统构成
测量方法
测量导体・半导体时
※ 传感器壳体与被测物保持同电位。
测量导体时，两个传感器应平行安装，并位于测量范围内。
将这两个传感器间的间距(Gs)设置到CL-7100系列。
将被测物插入传感器A与B之间，分别测量传感器与被测物
的间隙(Ga、Gb)，由此计算厚度(t)。
测量绝缘体时（CL-0740 选配功能）
※ 传感器壳体与对向导体保持同电位。
将传感器与导体(基准床)之间的间距(Gs)设置到CL-7100系列。
当在传感器与导体(基准床)之间插入被测物时，传感器的输出为Ga，
并根据该输出变化量及材料的相对介电常数 εr 来计算厚度(t)。
测量示例
简要规格
| 测量项目 | Thickness：被测物的厚度【导体/半导体/绝缘体※】 ※配备CL-0740 绝缘体测量功能时 | ||
| Gap A：传感器A与被测物的间隙【仅限导体/半导体】 | |||
| Gap B：传感器B与被测物的间隙【仅限导体/半导体】 | |||
| A-B（传感器 A 与 B 差值）：用于测量台阶、高度差或平行度（A-B）【仅限导体/半导体】 | |||
| Temperature：温度 ※配备CL-0741 温度测量与补偿功能时 | |||
| 适用传感器与显示分辨率 | 传感器型号 | 分辨率 | |
| 标准型 | VE-2011/VE-5011/VE-1021 VE-5010/VE-1020 |
0.1 µm | |
| VE-1520 | 0.5 µm | ||
| VE-3020 VE-8020/VE-8021 |
1.0 µm | ||
| 配备CL-0720 高分辨率运算功能时 |
VE-2011 | 0.02 µm | |
| VE-5010/ VE-5011 | 0.05 µm ※配备CL-0722 VE测量范围变更功能时：0.02 µm |
||
| VE-1020/ VE-1021 | 0.1 µm | ||
| VE-1520 | 0.2 µm | ||
| VE-3020 VE-8020/VE-8021 |
0.5 µm | ||
| 测量精度 | 传感器型号 | 分辨率 | |
| 标准型 | VE-5010/VE-1020/VE-1520/VE-3020/VE-8020/ VE-2011/VE-5011/VE-1021/VE-8021 |
± 0.15 % FS | |
| 配备CL-0720 高分辨率运算功能时 | VE-2011 | ± 0.12 % FS | |
| VE-5010/VE-5011 | ± 0.10 % FS | ||
| VE-1020/VE-1021/VE-1520/VE-3020/VE-8020/ VE-8021 |
± 0.05 % FS | ||
| 传感器输入电缆 | VL-1520（1.5 m 双端直型连接器）/ VL-1521（1.5 m L型 ⇔ 直型连接器） | ||
| 显示部分 | 4.3英寸触摸彩色液晶 最多可显示 4 项测量数据 |
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| 远程信号输出 | 输出方式 | 1个触点输出（a 接点输出） | |
| 功能 | 输入信号 | START/STOP/PAUSE/CALIB | |
| 输出信号 | ・可从运算状态或错误状态中选择 ・+5 V 电压输出 |
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| 适用连接器 | ER03-PB8M（多治见无线制造） | ||
| 接口 | RS-232C、Ethernet (选配功能 CL-0751） | ||
| 一般规格 | 电源 | AC100～240 V±10 %、50/60 Hz、功耗：36 VA以下 | |
| 外形尺寸 | 210(W) × 99(H) × 150(D) mm（不含突出部分） | ||
| 质量 | 约1.6 kg | ||
| 使用温度范围 | 0 ℃～ 40 ℃ | ||
| 保存温度范围 | –10 ℃～ 50 ℃ | ||
| 使用湿度范围 | 20 % ～ 85 %（不结露） | ||
| 保存湿度范围 | 20 % ～ 85 %（不结露） | ||
| 预热时间 | 40分钟以上 | ||
| 感电保护等级 | Ⅰ（3针） | ||
| 过电压类别 | Ⅱ | ||
| 使用环境 | • 室内使用（实验室 / 工厂） | ||
| • 可在高度 2,000 m 以下的环境中使用 | |||
| • 污染等级：2 | |||
| 支持标准 | RoHS标准 | EN IEC 63000 | |
| 安全标准 | EN 61010-1 | ||
| 附属品 | •AC电源电缆 •Remote 连接器（多治见无线制造：ER03-PB8M） •使用说明书 |
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| CL-7100S 附属品 | CL-0710 传感放大器 | 外形尺寸 | 81(W) mm × 48(H) mm × 35(D) mm（不含突出部分） |
| 质量 | 约210 g | ||
| 专用电缆（2.5 m） ※最长 10 m（选配） | |||
选配功能
CL-0720 高分辨率运算功能
提升显示分辨率和测量精度的功能。详情请参阅简要规格。
CL-0721 高阻抗接地模式
即使在接地电阻较大的测量条件下，也能稳定进行测量。
CL-0722 VE测量范围变更功能
可更改VE-5010、VE-5011的测量范围。详情请参阅简要规格。
CL-0730 模拟输出功能
| 输出点数 | 3 | ||
| 输出项目 | 可从Thickness / Gap A / Gap B / A-B / Temperature中选择 ※可选择偏差输出 | ||
| 输出范围 | ± 5 V | ||
| 负载电阻 | 100 k Ω 以上 | ||
| 精度（线性度） | ± 0.2 % FS 以内 | ||
| 更新周期 | 10 ms ※仅首次Gap A/GAP B移动平均设置：0.1 ms |
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| 适用连接器 | C02 型（BNC） | ||
CL-0731 比较器输出功能
| 输出点数 | 3 | ||
| 输出方式 | 1个触点输出（a 接点输出） | ||
| 接点容量 | 最大 60 V AC/DC、最大 400 mA（阻性负载） | ||
| 动作模式 | 可选择独立模式 / 联动模式 | ||
| 独立模式 | 可为每个端口单独设置测量项目及上下限值 | ||
| 联动模式 | •测量值大于上限值时，端口1打开 •测量值位于上限值以下、下限值以上时，端口2打开 •测量值低于下限值时，端口3打开 |
||
| 输出项目 | 独立模式 | 可从OFF / Thickness / Gap A / Gap B / A-B / Error中选择 | |
| 联动模式 | 可从OFF / Thickness / Gap A / Gap B / A-B中选择 | ||
| 判定间隔 | 10 ms | ||
| 适用连接器 | MC 1,5/6-STF-3,81–1827745（Phoenix Contact 制造） | ||
CL-0732 模拟与比较器输出功能
可作为选配功能，追加模拟输出和比较器输出两种功能。
CL-0740 绝缘体测量功能
可进行绝缘体厚度测量的功能。
CL-0741 温度测量与补偿功能
| 对应传感器 | 铂电阻温度计（PT100）三线制桥式 | ||
| 测量范围 | 0 ℃～ 200 ℃ | ||
| 显示分辨率 | 0.1 ℃ | ||
| 测量精度 | ± 0.3 % FS（不含传感器精度） | ||
| 更新周期 | 200 ms 以下 | ||
| 激励电流 | 约 1 mA | ||
| 适用连接器 | M4 螺钉端子连接 | ||
CL-0750 BCD输出功能
| 输出方式 | 6位并行BCD、开集电极输出 | ||
| 输出项目 | • 测量项目：Thickness / Gap A / Gap B / A-B • 运算：Instant / Max / Min / Range • 偏差：OFF / ON 可从上述组合或Display1/2/3/4中选择 |
||
| 输出更新周期 | 10 ms | ||
| 适用连接器 | HDRA-E36MA（本多通信工业制造） | ||
| 适用电缆 | AA-8207（3 m / 一端开路） | ||
CL-0751 以太网通信功能
| 传输方式 | 10BASE-T/100BASE-TX 自动选择 | ||
| 通信协议 | TCP/IP（IPv4） | ||
| 电气规格 | 符合 IEEE802.3 | ||
| 功能 | 通过专用端口进行命令控制及数据传输（Socket通信） | ||
| 适用连接器 | RJ-45 | ||
CL-015 晶圆用滑动台 定制品
CL-015与CL-7100及VE传感器（支撑部 ⌀10）配套使用，用于对硅晶圆等半导体/导体晶圆进行非接触式厚度测量的简易手动滑动台。为方便使用真空吸附镊子，晶圆放置台面设有凹槽。
CL-015 晶圆用滑动台
・适用晶圆：外径：100～150 mm，厚度：0.1～1 mm
・其他尺寸：如 200 mm、300 mm 等）可订制滑动台
VE系列 静电容量式微小位移传感器
标准型
| 型号 | VE-5010 | VE-1020 | VE-1520 | VE-3020 | VE-8020 |
|---|---|---|---|---|---|
| 测量范围（μm）※1 | 50～500 | 100～1000 | 150～1500 | 300～3000 | 800～8000 |
| 外形（mm）※2 | ⌀6 | ⌀8 | ⌀10 | ⌀20 | ⌀40 |
| 电缆长度 | 1.5 m（电缆一体型） | 另售 VL-1520/VL-1521 电缆（1.5 m） | |||
| 使用温度范围※3 | 0～+80 ℃ | ||||
⌀10 mm 夹具形状类型
| 型号 | VE-2011 | VE-5011 | VE-1021 | VE-8021 |
|---|---|---|---|---|
| 测量范围（μm）※1 | 20～ 200 | 50～500 | 100～1000 | 800～8000 |
| 外形（mm）※2 | ⌀3 | ⌀6 | ⌀8 | ⌀40 |
| 电缆长度 | 另售 VL-1520/VL-1521 电缆（1.5 m） | |||
| 使用温度范围※3 | 0～+80 ℃ | |||
※1 测量范围指从传感器端面到被测物体的最大间隙。
※2 被测物体的测量面必须大于传感器外径的面积。
※3 使用温度范围指传感器可正常工作的温度范围，并非保证线性精度的温度范围。
为确保线性精度，请在 +23 ℃±2 ℃ 的温度下使用。
信号电缆
| ●VL-1520 电缆长度 1.5m （双端直型连接器） |
 |
|---|---|
| ●VL-1521 电缆长度1.5 m （L型 ⇔ 直型连接器） |
 |
关联信息
最終更新日:2026/03/12