使用高稳定型静电容量式微小位移传感器（间隙检测方式），实现非接触，高精度厚度测量。根据测量对象和测量物的形状，可选择9种传感器，并可与测厚仪（CL系列）或位移传感器（VT系列）配套使用，可以针对使用用途进行测量。
适用于涡轮机、电动机、压缩机等旋转机械的轴振动、端面跳动，以及移动中物体的厚度、宽度测量与控制等应用领域。不仅可进行位移量测量，还可用于偏转量、弯曲量的测量与控制。
静电容量式微小位移传感器（间隙检测式）
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 测量范围：50 ～ 500 μm 外形：φ6 电缆长度：1.5 m |
测量范围：100 ～ 1000 μm 外形：φ8 电缆长度：1.5 m |
测量范围：150 ～ 1500 μm 外形：φ10 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：300 ～ 3000 μm 外形：φ20 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：800 ～ 8000 μm 外形：φ40 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
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| Ø 10 mm通用基柱配套型 | |||||||||||
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测量范围：20 ～200 μm 外形：φ3（先端） 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：50 ～500 μm 外形：φ6（先端） 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：100 ～1000 μm 外形：φ8（先端） 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
测量范围：800 ～8000 μm 外形：φ40（先端） 电缆（选配件）： VL-1520/1521（1.5 m） |
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非接触位移传感器（静电容量式）
测量例 转动轴振动偏芯的非接触测量
导体，半导体的位移测量
VT系列有电源为AC专用的VT-5200系列（适用于实验室和研究）以及电源为DC±15V专用的小型VT-5700系列（适用于生产线和设备组装）。
同时，输出响应频率有4 kHz和10 kHz两种，可根据使用目的进行选择。
| 非接触位移传感器 | |||||||||||
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输出：0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直线性：±0.2 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 输出响应频率：DC ～ 4 kHz 监视表示：20个LED比例表示 可设置输出电压偏移量 |
输出：0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直线性：±0.25 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 输出响应频率：DC ～ 10 kHz 监视表示：20个LED比例表示 可设置输出电压偏移量 |
输出：0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直线性：±0.2 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 输出响应频率：DC ～ 4 kHz 监视表示：10个LED比例表示 |
输出：0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直线性：±0.25 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 输出响应频率：DC ～ 10 kHz 监视表示：10个LED比例表示 |
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* F.S.（全量程）：VE传感器的最大测量范围
信号电缆
| VL-1520 电缆长度1.5 ｍ （两端直型接头） |  |
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| VL-1521 电缆长度1.5 ｍ （L型接头 - 直型接头） |  |
Revised:2025/12/26
