振动测量应用例
振动测量应用例 产品检查
A-2-7 半导体硅片传送系统的异常振动监视
● VC-2200振动比较器设定2种频带(频带),可以对每个频带进行有效值或峰值的OKNG判定。
为了除去测定开始时不需要的信号,本产品配备了延迟比较器判定的比较器延迟时间设定功能,
以及通过从PLC等外部输入门信号来控制判定定时的自动运行(AUTO)功能。另外,VC-2200电源规格为DC24V(DC22~26V),
但通过使用可选的VC-0352AC/DC转换器,也可以在AC100V下使用。
● 如果连接市售的耳机,可以确认振动音,也可以代替以往的听诊棒使用。
因为是通过每个设定频带输出,所以可以确认每个频带的现象。
● 这里的应用例中使用的传感器是代表性的传感器。请根据实际情况选择合适的传感器。
产品配置
型号 | 产品名称 | 備考 | 数量 | |
---|---|---|---|---|
1 | VC-2200 | 振动比较器 | 双频带同时判定、带峰值保持・最大值保持功能、电源 DC 24V | 1 |
2 | NP-3331N30 | 内置放大器型加速度传感器 (TEDS功能) |
共振频率:25 kHz以上、频率范围:2Hz〜4kHz(±0.5dB)、2Hz~10kHz(±3dB)、最大测量加速度: 700 m/s2 | 1 |
3 | NP-0143 | 信号电缆(5m) | 1 | |
4 | VC-0352 | 交流/直流转换器 | AC 100 V/DC 24 V 0.3 A | 1 |