振动测量应用例

● 在半导体生产工厂中，装有硅晶片的罐子在工序间以及在各工序内的传送过程中若出现异常振动可能会导致晶片损坏。
　在本示例中，传感器安装在被测罐子上（磁铁可拆卸式），VC-2200振动比较器可用于持续监控输送过程中的振动，
　并在出现异常振动时可控制系统停止输送等。振动监测还可用于输送以外的过程，例如在每个过程中检测晶片是否有裂缝。
● VC-2200 振动比较器设定2种频带，可以对每个频带进行有效值或峰值的合否判定。
　为了除去测定开始时不需要的信号，本产品配备了延迟比较器判定的比较器延迟时间设定功能，
　以及通过从PLC等外部输入门信号来控制判定定时的自动运行（AUTO）功能。另外，VC-2200电源规格为DC24V（DC22～26V），
　但通过使用可选的VC-0352AC/DC转换器，也可以在AC100V下使用。
● 使用一般耳机或听筒，可以用听声的方法对振动现象进行确认，也可以作为听诊棒使用。
　由于输出是按所设定的频带而来的，所以可以按频带对振动现象进行确认。
● 这里的应用例中使用的传感器是代表性的传感器。请根据实际情况选择合适的传感器。