振动测量应用例         产品检查

A-2-7     半导体硅片传送系统的异常振动监视

● VC-2200振动比较器设定2种频带(频带),可以对每个频带进行有效值或峰值的OKNG判定。
 为了除去测定开始时不需要的信号,本产品配备了延迟比较器判定的比较器延迟时间设定功能,
 以及通过从PLC等外部输入门信号来控制判定定时的自动运行(AUTO)功能。另外,VC-2200电源规格为DC24V(DC22~26V),
 但通过使用可选的VC-0352AC/DC转换器,也可以在AC100V下使用。
● 如果连接市售的耳机,可以确认振动音,也可以代替以往的听诊棒使用。
 因为是通过每个设定频带输出,所以可以确认每个频带的现象。
● 这里的应用例中使用的传感器是代表性的传感器。请根据实际情况选择合适的传感器。


产品配置

  型号 产品名称 備考 数量
1 VC-2200 振动比较器 双频带同时判定、带峰值保持・最大值保持功能、电源 DC 24V 1
2 NP-3331N30  内置放大器型加速度传感器
(TEDS功能)
 共振频率:25 kHz以上、频率范围:2Hz〜4kHz(±0.5dB)、2Hz~10kHz(±3dB)、最大测量加速度: 700 m/s2
3 NP-0143  信号电缆(5m)   1
4 VC-0352  交流/直流转换器 AC 100 V/DC 24 V 0.3 A 1