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 非接触厚さ計 CL-2400
非接触厚さ計関連 製品群概要
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製品写真(CL-2400 非接触厚さ計)

CL-2400 は導体・半導体を対象とした非接触厚さ計です。対向した2 個の VE シリーズセンサの間に測定対象を通すことにより、その厚さを測定することができます。BCD 出力、RS-232C インタフェース、ステータス出力、エラー信号出力、リモートコントロール入力など多種類の入出信号を標準装備して、パソコン、シーケンサ等の外部機器との通信ができ、計測装置のシステムアップが容易です。

 

特長

  • 測定対象に影響を与えない、非接触による測定

  • ディジタル表示のため、読み取りが簡単

  • 単純なセンサの構造が、優れた耐久性を実現

  • 独自の演算方式により高精度・高安定性・高分解能

  • インラインによる厚さ測定が可能

  • ディジタル出力、プリンタ用出力を備えていますので、記録等が可能

  • 豊富なインタフェースにより、計測制御のシステムアップが可能

測定サンプル例 

導体・半導体

シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金属板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。

 

測定例

<こちらをクリックください>

 

概略仕様

測定項目

  • 測定対象物の厚さ

  • センサAと測定対象とのギャップ

  • センサBと測定対象とのギャップ

表示モード

  • 厚さまたはギャップを絶対値表示

  • 測定値の最大値、最小値、最大値−最小値

分解能

CL-2400型に、予めセットされたセンサにより自動的に決定。センサ7種までセット可能。

VE-121、VE-222、VE-521、VE-525A、VE-133→0.1μm単位
VE-231、VE-531 →1μm単位

パラメータ設定

測定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、内部メモリーに設定します。これらの設定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。

サンプリング時間

20ms

アベレージング

BCD出力時
平均回数:1~64回の移動平均
LEDの測定値表示は0.2秒の単純区間平均

リアルタイムデータ処理

測定データの最大値・最小値、最大値一最小値をリアルタイムで表示。
スタートでデータを初期化。
ストップでデータをホールド。

表示

LED:緑色7セグメント6桁表示、単位表示、エラー表示

プリンタ出力

BCD出力を利用して、RQ-1410(ディジタルプリンタ別売り)にて印字

外部コントロール

外部の接点信号等により、制御可能。

制御項目:● START/STOP ● PAUSE  ●校正開始入力
入力仕様:フォトカプラ入力(順電流 If=10mA typ)

インタフエース/入力信号

BCD : 5桁BCD出力
コネクタ;アンフェノール36P
出力形式;オープンコレクタ出力

RS-232C: コネクタ;HR12-10R-8SD
ボーレート;9600、2400、1200選択
パラメータ設定; Xon_Xoff、8Bit、パリティなし、ストップBit 1固定
※別売 接続ケーブルAX-5022 ¥12,000 (CL-2400←→PC-ATパソコン)

SYNC : CL-2400をカスケード接続する場合のキャリア用
クロックの入出力
コネクタ;C02(BNC)

電源

AC 100~240 V 50/60 Hz 消費電力 30 VA 以下

使用環境 (本体のみ)

温度:+18℃~+28℃(精度保証範囲)、0℃~+40℃(使用範囲)
湿度:20~80%R.H(但し結露しないこと)

外形寸法

210(W)×99(H)×350(D)mm

質量

約 3.7 kg

価格

(税込

 

Revised: 2006/09/19


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