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製品写真(RR-2000シリーズ回転軸ぶれ計)

Laser Runout Sensor & Meter

 

RR-2000システムは、回転体・回転軸に発生する微小な「ぶれ」(NRRO/RRO)を 100 mm の検出距離から最大 0.07 nm(70 pm)の高分解能で検出が可能なレーザドップラ方式のぶれ検出システムです。検出可能最大振幅 は 1 mmp-p、検出可能周波数範囲は DC ~ 100 kHzとワイドレンジ。アナログ電圧出力に加えてデジタル出力(USB 2.0)を標準装備。USB 2.0 経由でデータをパソコンに高速保存、取り込まれたデータは、変位解析ソフトウエア(RR-0900)を使用して、PC上でダイレクトに各種解析・表示が可能です。 しかも、1台の本体に2台のセンサの接続が可能。また、本体2台を同期運転することで最大4センサによる同時データ収録・解析を行うことが出来ます。

 

RRO(Repeatable Run-Out):
繰り返し回転振れ

NRRO(Non-Repeatable Run-Out):
非繰り返し回転振れ

 

RR-2000シリーズご紹介アニメーション (FLASH Movie) 左記MOVIEをご覧頂くには、お使いのブラウザに MacromadiaFlashPlayer が組み込まれている必要があります。お持ちでない方は下記アイコンのサイトにて「FLASH PLAYER」をダウンロードしてください。リンク(FLASHPLAYER)

イラスト(システム構成例)

特長

分解能70pm
小野測器独自の信号処理技術で最高分解能は 70 pm(デジタル出力)でサブ・ナノ分解能を提供。高精度スピンドルの NRRO の検出に最適です。


作動距離100mm
センサと検出対象の回転体との設置距離は 100mm±5 mm と従来の静電容量式検出器より広範囲で、検出器の位置合わせが容易。検出距離に入れば 、そこを原点にセットして計測スタート。シビアな検出距離合わせや回転する対象と接触による損傷事故や狭間隙による動圧の影響がありません。


検出周波数DC~100kHz
DC~100kHz の軸振動を検出可能。超高速回転の成分から回転条件によって発生する軸の倒れ(オフセット)、モータやギアから発生する周波数の高い振動成分まで検出が可能です。

 

最大検出範囲1mm(p-p)

高分解能変位センサながら検出が可能な最大変位幅は1mm(p-p)と広範囲。幅広い分野での回転体計測が可能です。※測定レンジ50μm/V 時。

 

2台連結、4センサまで同期運転

センサアンプには変位計を2個接続可能、センサを直交配置してのリサージュ波形を簡単に得る事が出来ます。また2 台のアンプを接続し、同期運転する事で、最大4台の検出器を同期可能。3点法による NRRO/RRO の検出が可能です。

 

エンコーダ入力ボードを用意

エンコーダ入力ボード(RR-0300)を装着する事で、スピンドルに組み込まれたエンコーダからの回転パルスを使用し、回転角ごとの軸ぶれを製品写真(RR-0300エンコーダ入力ボード)計測・解析する事が出来ます。エンコーダ駆動用電源も装備しています。
※変位解析ソフトウエア(RR-0900)使用時。

 

変位値をデジタルデータでPC に高速転送

アナログに並列してデジタル出力 (USB2.0 High Speed)を装備。変位値をデジタルデータでPCに高速転送。PCでダイレクトに各種解析・表示が可能です。
※変位解析ソフトウエア(RR-0900) が必要です。

 

OK/NGインジケータで位置合わせ簡単

回転軸や中央の最適な検出位置にレーザの照射を誘導するインジ ケータを装備。簡単に最適位置に設置が可能です。写真(RR^0500センサのOK/NGインジケータ)

回転中の検出状態の確認にも有効です。

 

ファン・レスで自己振動対策

RR-2000システムは自然対流よる空冷方式を採用。ファンレスとする事でセンサ・本体自体が振動ノイズ源になりません。


アプリケーション例

  • ハードディスク、光ディスクなどメディアの面ぶれ、変位計測

イラスト(ハードディスク面ぶれ計測アプリケーション)

  • ベアリングの傷、異物混入、アンバランスによるぶれ、変位計測

イラスト(ベアリング変位計測アプリケーション)

  • ローラ、遠心分離機などのぶれ、変位計測

イラスト(遠心分離器の変位計測アプリケーション)

  • エアースピンドル、スピンドルモータ、HDD 用・光ディスク用モータの回転軸ぶれ、NRRO、RRO計測

イラスト(エアースピンドルの軸ぶれ計測アプリケーション)

  • CNC 旋盤、加工機、各種ドリル、ダイシングマシンの 軸ぶれ、変位計測

イラスト(ドリルマシーンの軸ぶれ計測アプリケーション)

  • その他の応用分野

    • ポリゴンミラー

    • OA 機器用感光体ドラム

    • ダイシング加工機

    • ファン軸

    • タービン軸

    • 歯科・医療用エアタービン、
      エンジン・コントラアングル


RR-0900変位解析ソフトウェア解析データ例

  • 時間 - 変位グラフ

解析データ(時間-変位グラフ)



収録した「時間 - 変位」データを1回転時間ごとに重ね書き表示。時間経過と変位の関係を判り易く表示します。表示したいデータを任意に表示・消去可能です。

  • 角度 - 変位グラフ

解析データ(角度-変位グラフ)



収録した「角度 - 変位」データを回転角度ごとに重ね書き表示。回転角度と変位の関係を判り易く表示します。表示したいデータを任意に 表示・消去可能です。

  • NRRO 頻度グラフ

解析データ(NRRO頻度グラフ)



計測回数をX軸にとって NRRO をプロットします。

  • RRO/NRRO 表示

解析データ(PRO/NRRO表示)



収録データから基準となる RRO(Repeatable Run-out)を算出します。 RRO から NRRO(Non- Repeatable Run-Out)を算出表示します。

  • ヒストグラム

解析データ(ヒストグラム)



収録した変位データのヒストグラムを表示します。

  • FFT解析

解析データ(FFT解析)



「時間 - 変位」データから FFT 処理を行ない、軸ぶれの周波数解析が可能です。

概略仕様

RR-0500 レーザ回転軸ぶれセンサ(検出部単体)
光源 He-Neレーザー(波長 633 nm)
射出光出力 1 mW 以下(クラス 2 JIS C 6802 規格適合)
測定距離 100 mm ± 5 mm 以内(レーザ射出端面よりレーザ照射面まで)
レーザスポット径 100 μm ± 20 μm(測定距離において)
最大測定範囲 1 mmp-p(50 μm/Vレンジにて)
検出可能軸径 φ= 3 mm 以上
検出可能表面粗さ Ra= 0.2 以下
レーザ遮断 メカニカル・シャッター式
センサ信号ケーブル長 3 m(RR-0030 信号ケーブル)
信号ケーブル屈曲半径 R = 50 mm 以上
ケーブル外皮 耐熱耐油 PVC 黒色
表示器 レーザ放射およびスタンバイ表示器(ウォーミングアップ中(赤)、 計測準備完了(緑))
レベルバー表示器(OK/NG)LED 表示
固定ネジ穴 M5 × 4 深さ 5 mm(ヘリサート補強)
センササイズ 85 (W) × 90 (H) × 204 (D) mm
センサ質量 約 2 kg(信号ケーブルを含まず)

RR-2200 レーザ回転軸ぶれ計(本体)
センサ接続数 2 台
分解能 0.07 nm(0.25 μm/V レンジ):デジタル出力
直線性 0.05 %/F.S (50 μm/V レンジにて)
測定周波数範囲 DC ~ 100 kHz
サンプリング 内部/外部 切替式
外部同期 同型機本体を 2 台連動可能
測定レンジ
 
  アナログ出力分解能 デジタル出力分解能
0.25 μm/V
(測定範囲:±2.5 μm)
0.07 nm 0.07 nm
5 μm/V
(測定範囲:±50 μm)
1.5 nm
50 μm/V
(測定範囲:±500 μm)
15 nm

※各チャンネルの測定レンジ連動、デジタル出力はレンジ・レス

変位出力
(アナログ)
 
変換方式 D/A 16bit
出力電圧 ±10 V
直線性 0.1%/F.S
アナログリップル 2 mVp-p 以下
出力コネクタ BNC(C02 型)×2
出力インピーダンス 50 Ω(負荷抵抗 100 kΩ 以上)

 

変位出力
(デジタル)
 
ポート数 1
規格 USB Ver.2.0
コネクタタイプ B

測定範囲:1 mmp-p  デジタル分解能:0.07 nm

ACカップリング出力 ONで HPF fc=0.3 Hz
ローパスフィルター 1kHz、5kHz、 20kHz、OFF:スルー(fc=100 kHz)※各チャンネル連動 fc=−3dB
モニター出力  
出力電圧 0 ~ 10V
出力コネクタ BNC(C02 型)×2
出力インピーダンス 50 Ω(負荷抵抗 100 kΩ 以上)

※受光・干渉強度モニター用 レベルバーに連動

表示器  
オーバレンジ表示器 CH 1、CH 2
選択レンジ表示器 50 μm/V、5 μm/V、0.25 μm/V
選択 LPF 表示器 20 kHz、5 kHz、1 kHz
レベル表示器 OK/NG
キープロテクト表示器 キープロテクト状態で点灯
AC/DC出力状態表示 AC、DC
サンプリング状態表示 INT、EXT
ゼロ・リセット表示(LED) リセット入力で点灯

 

スイッチ サンプリング切替スイッチ(INT/EXT)、マスター・スレーブ切替スイッチ(MASTER/SLAVE)、ゼロ・リセットスイッチ(ONでリセット)
端子入力  
トリガー入力 Hi : +4 ~ +30 V、 Lo : 0 ~ +1 Vに対応
ゼロ・リセット入力 無電圧接点入力
キーロック入力 無電圧接点入力 

※ショートバー装備、ショートで
パネル操作禁止

 

端子出力  
位置不適正(NG)出力 オープンコレクタ出力
電圧:DC 30 V 以下
シンク電流 25 mA 以下
オーバーレンジ出力

 

端子台 端子ネジ M 3
電源 AC 100 ~ 240 V、50/60 Hz
消費電力 100 VA 以下
使用温度範囲 5 ~ +40℃
使用雰囲気 腐食性ガス、オイルミスト等無い事
保存温度範囲 −10 ~ +50℃
ウォームアップ時間 約 0.5 H
本体冷却 自然対流による空冷式
本体質量 約 8.4 kg

RR-0900 変位解析ソフトウエア
解析機能 時間-変位計測、PRO/NRRO表示、NRRO頻度グラフ、ヒストグラム表示、リサージュ、極座標グラフ、FFT解析、複数波形表示/選択表示/カーソル機能/拡大縮小、回転速度/平均回転速度/ジッター
一般計測条件設定 測定台数/分解能、時間サンプリング・角度サンプリング切替、計測回転回数設定、サンプリングクロック設定、サンプル数/トリガ設定/分周逓倍設定、測定チャネル設定/測定方向設定
環境補正値条件設定 温度/湿度/気圧/熱膨張率/対象物温度
データ関連保存形式 専用形式(.ldp)
データ関連機能 保存/読み出し/CSV 出力/表示画面コピー
動作条件  
OS Windows 2000, XP
CPU Pentium 4 2 GHz もしくは Pentium M
 1 GHz 以上
ディスプレイ解像度 1024 × 768(XGA)以上
メモリー 512 MB 以上
ハードディスク 空き容量 500 MB 以上
インターフェース USB 2.0(High Speed)

 

RR-0300 エンコーダ入力ボード (オプション)
エンコーダ入力端子 90゜位相差信号

方形波電圧信号(Hi:+4~ +30V、Lo:0~+1V)、ラインレシーバ(RS-422A 準拠)DC ~ 100 kHz

※エアスピンドル内蔵エンコーダ用
※回転速度計測範囲:1000r/min 以上
※マスターに設定時に機能

エンコーダ用電源 DC 5 ± 0.25 V、DC 12 ± 0.6 V(各 150 mA MAX)
端子台 端子ネジ M 3

価格

型名 品名 価格(税込)
RR-2200 レーザ回転軸ぶれ計(本体)
RR-0500 レーザ回転軸ぶれセンサ(検出部単体)
RR-0900 変位解析ソフトウエア
RR-0300 エンコーダ入力ボード
RR-0400 90°ミラー
RR-0800 微調ステージ (お問い合せください)
RR-0200 キャリングケース
RR-0030 信号ケーブル(3m
※信号ケーブルの長さはご相談ください。


センサ取付時

RR-0800 微動ステージ RR-0400 90°ミラー RR-0200 キャリングケース

最終更新日:2011/08/22



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