レーザー測長器による真直度測定
(ピッチング&ヨーイング)
レーザー測長器を用いたポピュラーなアプリケーションの1つとして真直度計測があります。ここでは、その計測原理と実測例をご紹介します。
移動するテーブルに、A−B または B−C のようにコーナーキューブを取り付け、レーザー測長器 2ch でステージを動かしながら同時に移動する l の距離の計測を行ないます。 LV-0930 変位解析ソフトでは、この 2ch の距離データよりピッチング、ヨーイングの角度計算を行ないます。得られた X 軸 = 変位(l )、Y 軸 =角度( θ )データを積分する事により、A−B 間であればx- z 平面、B−C 間であればx− y平面 の軌跡と真直度を求めることが可能です。
計測原理
X−Y平面上を物体が b から c に移動したとき、その軌跡を f ( x ) とすると;
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式 1 |
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式 2 |
となります。軌跡が f ( x ) であるときの真直度は理想直線からの距離で定義されます (Fig. 1)。
(2)式より、導関数 f ' ( x ) が計測できれば真直度を求めることができます。
Fig. 1 真直度の定義
また、レーザー測長器 LV-9300A と レーザー測長計センサー LV-9002 2台と変位解析ソフト LV-0930 を使用することにより移動変位に対するピッチ角、ヨー角を測定することができます (Fig. 2)。)
Fig . 2 レーザー測長器を使用したピッチ、ヨー角の計測
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式 3 |
式 4 |
機器構成
型名 | 品名 | 備考 | |
---|---|---|---|
1 |
LV-9300A | レーザー測長器 | |
2 |
LV-9002 | レーザー測長センサー | 2セット |
3 |
LV-0121A | デジタル変位計 | 2セット |
4 |
LV-0802 | コーナーキューブ | 2セット |
5 |
LV-0930 | 変位解析ソフト | |
6 |
LV-0703 | デジタル変位出力 USB接続ケーブル | 2セット PCとのインターフェイス |
7 |
LV-0822A | アライメント治具 | 2セット 移動軸線とレーザー光のアライメント |
* レーザー測長器に LV-9110A を使用の場合は LV-0802 と LV-0812は不要です
測定方法
1 | コーナキューブ(LV-0802)を水平方向に距離 L0 離し測定対象テーブルに固定する |
2 | レーザー測長器とコーナキューブ(LV-0802)の光軸調整を行う |
3 | 測定対象テーブルを移動させ変位とヨー角のデータをPCに取り込む |
4 | ヨー角のデータを変位で積分演算させることにより真直度を求める |
解析データ例
最終更新日:2021/01/11