ポイント

• 製造する IC の種類や使用するボンダおよびワイヤによって特性が異なるため、 業界標準となるような基準を作成することはできず、個別対応となる。 このため基準作成のための時間を要し、即効性はあまりない。 また。常時監視を行うことは不可能であり、測定に多少の慣れを必要とする。
• キャピラリは、交換部品であるため交換作業があり、ホーンに対するキャピラリの取付位置や固定ネジの締め付けトルク次第では、ボンディング時にツールの振幅が変化することがあり、さらにツールの材料や形状によっても振動振幅が変化します。
• ボンダー本体とレーザードップラ振動計センサーの相対振動が計測結果に与える影響は、その振動速度の周波数成分からしてキャピラリの振動データからは観測出来ないほど軽微ですが、ボンダー、 もしくはレーザードップラ振動計センサー固定三脚を据えている床に強度が無いなど、相対的に大きく揺らぐ場合、 キャピラリ円筒頭頂部にレーザー光を安定して照射する事は難しく、S/N 比の良いデータを取得する事は出来ません。 この様な場合、光学除振台を三脚の下に引く事で振動の影響を軽減させる等の対策が必要です。