直線性とは、距離の真値に対しての計測値の最大誤差範囲を示しています。

　

　

変位測定の場合、直線性仕様が精度となります。 例えば、センサーに VE-1520 を使用する場合、フルスケール（F.S.）が 1500 μｍ なので、±2.25 μｍ の精度となります。

厚み測定の場合、2つのセンサーでそれぞれの距離を測定し、演算で厚みを算出していますので、最大誤差仕様は、直線性仕様の２倍となります。しかし、通常、厚み測定ではマスター片で基準厚みを校正します。距離変化が少ない場合は誤差の変化が少ないため、マスター片校正を行うと計測誤差を押さえることが出来ます。検査対象ワークの種類毎にマスター片を用意し、マスター片と検査ワークとの厚み差を少なくし、且つ測定時のワーク位置の変化も抑える工夫をすることで、仕様よりも少ない誤差に押さえることが出来ます。