静電容量式厚さ計・変位計では導体・半導体の変位をどのように測るのでしょうか?

下図のようにセンサを測定対象物と対向させ、そのギャップを計測します。この時、センサのケース部と測定対象物は電気的に繋がっていなければなりません。これは、静電容量式が電流を使ってギャップを測っているためです。センサケース部と測定対象物間のインピーダンス(電気の通りにくさ)が大きいと、測定誤差となります。一般的に、1 kΩ 以下であれば、仕様範囲内に入ります。

 



お問い合わせフィードバックフォーム

お客様相談室




Copyright © ONO SOKKI CO.,LTD All Rights Reserved. | 当サイトのご利用にあたって| 個人情報保護方針