静電容量式厚さ計・変位計では導体・半導体の変位をどのように測るのでしょうか?

下図のようにセンサーを測定対象物と対向させ、そのギャップを計測します。この時、センサーのケース部と測定対象物は電気的に繋がっていなければなりません。これは、静電容量式が電流を使ってギャップを測っているためです。センサーケース部と測定対象物間のインピーダンス(電気の通りにくさ)が大きいと、測定誤差となります。一般的に、1 kΩ 以下であれば、仕様範囲内に入ります。

 



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