LV-2100 レーザー干渉変位計で形状計測は可能ですか?

三角測量式のレーザー変位計のように形状や厚みを測る事は出来ません。

 

LV-2100 レーザー干渉変位計は対象物が振幅する事で変化する干渉縞を連続カウントする事で変位を得ます。この方式(フリンジカウント)は作動距離の制約が非常に少なく、ナノm以下の分解能を得られる事が大きな特長です。一方で、段差や厚みなど、測距式では可能な計測は出来ません。

 

三角測量式レーザー変位計は測距式変位計であり、センサーから対象までの距離を測る事で変位を得ているので、段差の計測が可能です。一方で、検出距離と分解能が両立せず、周波数特性が伸びないなど、位相を含む振動解析やダイナミックな動きに追従した変位検出には不向きです。



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