0.155 nm の分解能を持つ LV-2100 レーザー干渉変位計での微小変位観測では暗振動は大きく影響します。

例えば、50 nm の変位観測時は、僅か 1 μm 程度の暗振動が観測の妨げになります。

 

暗振動は要因を突き止め、対策や処理が必要です。

　

【振動源の要因特定】

● LV-2100の設置環境を確認します。

【振動源の除去】

● 台上の振動源は移動、除去します。
● 床上の機器で不要な機器は作動を停止します。

 

【除振台を使う（振動絶縁・低減）】

床上や建家内の振動源は簡単に除去、停止出来ません。その場合は除振台を使います。
除振台上には計測対象、および LV-2100（センサー、本体）を設置します。

【計測時間のシフト】

計測自体を人間活動の少なくなる時間（深夜）に実施します。これは、屋外からの暗振動に大きな効果があります。

【センサー懸架治具の補強・強化】

LV-2100 センサーの懸架治具を強化・補強します。

LV-0030 大型マグネットスタンドに XY 軸微動ステージ（LV-0015）や Z 軸微動ステージ（LV-0016）が装着されている場合、それらを外してしまうのも効果があります。ステージを外す事でアライメントが困難になる場合、LV-0030 を2台連結する事で懸架治具の振動を低減する事が出来ます。