LV-0121A デジタル変位計(フリンジ・カウンタ)による変位計測

デジタル変位計 LV-0121A(フリンジ・カウント)は、レーザードップラ振動計と組み合わせて使用する、センサーヘッドに内蔵された干渉計を応用した変位計測用オプションです。基準光と測定対象からの反射光との位相ずれによって生じる光の明暗(干渉縞:フリンジ)をカウントし、デジタル信号とアナログ信号で変位を出力します。

デジタル信号は最大サンプリング 1 MHz、最高分解能 0.155 nm(※))、アナログ変位信号 周波数 DC ~ 100 kHz(-3dB) の DC オフセットを含んだ微小変位計測が可能です。 (※変位解析ソフトウエアLV-0930が必要です。)

デジタル変位計 LV-0121A は物体の静止状態(DC)からの過渡的な変位(矩形)や DC オフセットを含む変位振幅が計測できます。低周波振幅やオフセットを含む変位はデジタル変位計の変位出力を使用し、高い周波数の振幅はドップラ振動計の速度出力を用いることで、広帯域の振幅計測を可能にします。

 

原理

LV-0121A デジタル変位計の動作原理は、物体にレーザー光を照射し反射してきたレーザー光をもとの入射光と重ね合わせたとき、光の位相(波の山と谷)が合っていれば光の強度は最大、完全に反対ならば打ち消し合って暗くなる現象を利用しています。

下図で、L1 = L2 では、基準鏡からの戻り光と測定鏡からの戻り光の位相は合っているので明るくなります。次に測定鏡が移動して光路差がλ/2(λ = レーザーの発振波長)になると、逆位相となり(180 度ずれる)暗くなります。

このように、測定鏡(測定対象物)が移動して L1 と L2 との光路差が λ/2 ごとに、明・暗の干渉縞が発生します。この干渉縞を数えることにより、変位量を計測することができます。

 

 
 

 

注)LV シリーズに使用されている He-Ne レーザーの発振波長(λ)は、約632.8nm です。LV-0121A デジタル変位計はこの波長を基準に変位を計測しています。

計測例


LV-0121A デジタル変位計使用によるカンチレバーの矩形的な変位値


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