尺寸与位移

尺寸测量         使用高精度位移传感器的尺寸测量

D-2-1     1μm精度的硅晶圆的厚度测量

●对于4英寸以下的小型硅晶圆，可以使用ST-0230传感器支架。对于6英寸以上的大型硅晶圆测量台，请另行咨询。（图像示例已有实际使用的经验）


产品配置

  型号 产品名称 备注 数量
1 GS-3813B 数字式位移传感器 - 1
2 ST-0230 传感器支架 - 1
3 DG-5100 数字式位移计数器 - 1
5 AX-2050N 电源电缆（3m） - 1

備考