目的の場所に移動・静止・位置決めを行うリニアステージ装置は、インクジェット式プリンターやスキャナーヘッドの移動機構をはじめ、NC制御の機械加工装置や搬送装置、基板や半導体露光装置まで多くの分野で使われています。リニアステージ装置には、移動精度や移動速度、速度ムラ、移動時の揺れ（ピッチングやヨーイング）など様々な品質要求項目があり、また最近では一層の位置決めの高精度化と移動速度の高速化が求められるようになってきたことで、装置性能評価の為にナノ・メートル以下の分解能を持つ高速・高精度なレーザー測長計の登場が望まれてきました。

新たに開発したレーザー測長計システム（LV-9002 レーザー測長センサー、LV-9300A レーザー測長計、 LV-0121A 変位ユニット)は He-Ne レーザー光を使い、最大 5 m/s の直線変位を 1 MHz でのサンプリングと 0.155 nm 分解能で測定することができる“高精度・高速応答”非接触測長システムです。本システムは干渉計内蔵のシンプルな構成のため、簡単・短時間での設置が可能です。また、LV-0930 変位解析ソフトウエアオプションにより、USB 出力より計測データを読み込み、1 MHz のサンプリング周波数で、測定物の移動軌跡や停止時等に発生するオーバーシュートなどの動特性解析や、変位に重畳した成分の FFT 解析、デジタルフィルター処理に加え、輸出時に必要なISO230-2 に準拠した位置決め精度試験などが可能です。

レーザー測長計システムは３つのユニット（LV-9002 センサーユニット LV-9300A レーザーユニット LV-0121A 変位ユニット）から構成され、ユニットの組合せにより、１chの測長計として、或いは２chの測長計としてピッチング＆ヨーイングや差分計測システムが構成可能です。

• 干渉計一体型のシンプル構造

• 最大 ±10 m まで測定可能

• 最大 1 MHz サンプリング、5 m/s の高速応答

• LV-0930 動特性解析ソフトを組み合わせ、サンプリング周波数 1 MHz の高速応答で移動軌跡や振動軌跡などをグラフ表示

• USB 2.0 デジタル出力を標準装備

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