半導体製造装置を設置する床の振動状態が把握できる
超高感度ローノイズ TEDS対応3軸加速度センサー NP-7320N10

電子計測器の製造および販売を展開する株式会社小野測器（社長 大越 祐史）は、ナノレベルの床の振動を計測できる「超高感度ローノイズ TEDS対応3軸加速度センサー NP-7320N10」を2024年2月7日より発売開始しました。

超高感度ローノイズ TEDS対応3軸加速度センサー NP-7320N10

本製品は「3軸加速度センサー NP7310」の後継モデルとなります。近年、半導体は自動運転やクラウドコンピューティングの成長などにより、今や生活するうえで欠かせない存在となっています。需要が増す一方、半導体の製造現場においては、さらなる小型化と量産化の取り組みが行われていますが、要求精度は数十ナノメートルから数ナノとなり、より微細な加工が求められています。

そのため、工場の床の不要な振動は、製品の加工精度や検査などに大きな影響を及ぼし、歩留まり率が低下する要因となっています。安定した生産を行うためには、人の感覚ではわからない微小な振動を現場で把握し、対策する必要があります。

当社はこの微細な振動を検出するために、従来販売していた3軸加速度センサーの後継機を発売しました。従来製品と同等に、感度 100 mV/(m/s²)と、自身が持つノイズを 28 µm/s² rms以下を実現し、現場で要求されるナノレベルの振動が測定可能となりました。本製品を市場投入することで、半導体の安定供給に貢献します。

超高感度・ローノイズ／3軸同時測定／防水構造IP67／TEDS対応／CE適合

• 半導体製造装置や精密加工機の適切な設置場所を検討したい
• 製造時の設置床における振動影響を把握したい

本製品は、感度 100 mV/(m/s²)、自己ノイズ 28 µm/s² rms以下を実現した圧電式プリアンプ内蔵型 TEDS^*1対応3軸加速度センサーです。

また、当社のポータブルFFTアナライザー「CF-9400A」と組み合わせることで、床の振動評価で使用するトリパタイトグラフ^*2とVC曲線^*3の表示をリアルタイム計測で実現。現場ですぐに床の振動状況を把握することができます。また、現場で周波数分析や固有振動数測定など、より詳細な波形解析が可能です。

*1　センサー固有の情報を電子的に読み書きする仕組みで、センサーに内蔵したEEPROMに記録し、この値を電子的に読み書きすることができるIEEEで規格化された記述フォーマットの総称。

*2　周波数軸上で、速度を基本として、加速度、変位の振幅読み取りを可能にするグラフ。

*3　VC曲線は、半導体製造装置や精密機械の分野で微振動の評価基準として広く使われている指針。周波数に依らず速度が一定で、 6 dB刻みで5段階（VC-A、VC-B、VC-C、VC-D、VC-E）に分けられている。

CF-9400Aと組み合わせた床振動計測システム

• 圧電式プリアンプ内蔵型　TEDS対応3軸加速度センサー（CE適合・IP67対応）
  圧電式でCE適合のため輸出入が容易です。また、IP67に対応していますので、屋外など厳しい環境の現場でも使用することができます。
  
  
• センサー用アンプが不要でPC一体型のシンプルなシステム
  バッテリー駆動でセンサーアンプ、PCが不要のため、現場への持ち込み機材が少なく、作業効率向上につながります。

現場測定のイメージ図

• 床振動計測で使用されるトリパタイトグラフとVC曲線のリアルタイム表示を実現
  トリパタイトグラフとVC曲線を現場で表示できるため、その場で床の振動状態を把握することができます。実稼働計測に加え、インパルスハンマーを組み合わせた固有振動数測定も可能なため、装置と設置床に関連した振動要因分析を現場で行うことができます。
  

トリパタイトグラフのイメージ図