高分解能リニアゲージセンサー
GS-3813B/GS-3830B
分解能0.1µm
左側：GS-3830B 右側：GS-3813B
GS-3813B/GS-3830B はサブミクロンリニアゲージセンサーでありながら、耐久性に優れた軸受けとIP66Gの防塵・防滴性能を持ち、自動機によるインライン計測に対応した高分解能リニアゲージセンサーです。
ボールスプライン軸受けの採用と新光学系の開発で、高分解能と耐環境性能の両立が可能になりました。
矩形波出力（ラインドライバ出力）で検出信号が取り出せるので、PLCに直接接続できます。
GS-3813B/GS-3830B リニアゲージセンサーをご利用いただくには、DG-5100 デジタルゲージカウンタが必要です
DG-5100デジタルゲージカウンタ
特長
高分解能化
1 µm → 0.1 µm
保護構造 IP66G
防塵、防水のみならず耐油性も実現
軸受寿命と耐環境性能を大幅に向上
高分解能タイプながら自動機での使用にも対応
・軸受寿命 摺動回数 500 → 1500 万回
・耐振動 98 → 196 m/s2
・耐衝撃 980 → 1960 m/s2
アプリケーション例
レーザーなどの光学系に使用されるガラス部品の高精度寸法測定
レーザー機器用ガラス部品などは、研磨加工工程で接触式高精度リニアゲージで寸法検査をし、中間工程での精度を確保し、最終工程の光学検査工程へ送ります。
1 µm の精度でシリコンウェハーの厚さ測定
高精度リニアゲージセンサーを使用し、1 µm の精度でシリコンウェハーの厚さを測定します。4インチ以下の小さなウェハーでは ST-0230 ゲージスタンドを利用できます。
シリコンウェハなどの反りがある素材の高精度厚さ測定
シリコンウェハのように反りがある板状材料の厚さを高精度に測定します。反りの影響を受けない様にするため、GS-3813B ゲージセンサーの測定子が当たる部分を「凸レンズ」で受け、その他4点をピンで支える構造を持った特殊スタンドを使用します。
GS-3813B ゲージセンサーの測定子中心と凸レンズ中心を合わせることで、反りの影響をほとんど受けずに厚さを測定することができます。測定データは RS-232C インタフェース経由でパソコンに取り込むことで、統計処理等の2次処理が行なえます。
概略仕様
| GS-3813B | GS-3830B | |
|---|---|---|
| 測定範囲 | 13 mm | 30 mm |
| 適応ゲージカウンタ | DG-5100 | |
| 分解能 | 0.1 µm | |
| 指示精度（20 ℃において） | 1 µm | |
| 最大応答速度※1 | 300 mm/s (1.2 m/s) | |
| 測定力（下向き）※2 | 2.3 N 以下 | 2.7 N 以下 |
| 測定力変更範囲（オプション）※2 | 0.9～2.3 N | 1.6～2.2 N |
| 測定力変更範囲（オプション）※3 | 2.7～3.0 N | （不可） |
| 摺動回数（当社条件による） | 1500万回 | |
| 保護等級（コネクタ部分を除く） | IP66G | |
| ステム径 | φ15 mm+0 -0.009 | |
| 供給電源 | DC 4.5～5.5 V | |
| 消費電流 (DC 5V供給時) | 150 mA 以下 | |
| 信号出力 (DC 5V供給時) | 90 °位相差差動矩形波 RS422A適合 ラインドライバ出力（26C31相当品） | |
| 耐振動 (非通電時) ※4 | 196 m/s2 3軸各方向（各75分）10 Hzから150 Hzスイープ 10サイクル | |
| 耐衝撃 (非通電時) ※4 | 1960 m/s2 3軸各方向各向き ±X,Y,Z各3回 正弦半波 作用時間6 ms | |
| 使用温度範囲 | 0～40 ℃ | |
| 保存温度範囲 | －10～55 ℃ | |
| ケーブル長 | 約 5 m | |
| 質量（ケーブル、コネクタを含む） | 約 350 g | 約 420 g |
| 付属品 | 取扱説明書、スパナ | |
| 価格 |
（税込 ） |
（税込 ） |
| オプション | ・AA-969 フィンガーリフト ・ST-0230、ST-044B ゲージスタンド ・AA-4104 (13 mm)／AA-4105 (30 mm) 取替用防塵ゴム ・AA-844 (30 mm)／AA-845 (50 mm) 延長スピンドル ・各種 測定子 ・AA-3310 取付金具 ・AA-8901 (5 m)／AA-8902 (10 m)／AA-8903 (20 m)／AA-8904 (30 m) 延長ケーブル 信号ケーブル・アクセサリー |
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※1 当社ゲージカウンタ使用の時、かっこ内はDG-5100使用時の電気的応答速度です。
※2 横向き使用（10℃以下）、上向き使用でスピンドルが完全に戻らない場合があります。
※3 上向き使用を可能とする改造時の変更範囲です。（数値は下向きでの測定力です）
※4 測定中の耐振動・耐衝撃は表記値を保証しません。
※ 信号ケーブルの途中切断、改造の場合CEマーキング非適合になります。
関連情報
最終更新日:2023/07/27