デジタルゲージカウンタ
DG-5100

DG-5100

DG-5100は、盤組み込みタイプの高分解能ゲージセンサー用カウンタです。入力周波数 3 MHz とこれまでのカウンタに比べて10倍のスピードを持つ高速カウンタです。
（GS-3800Bシリーズで 1.2 m/s のスピンドル速度に相当）

コンディションメモリ機能、RANGE（MAX値－MIN値）表示機能、カウント重み付け機能、オフセット値設定機能等、多彩な演算機能が標準装備されています。

オプション機能をオプションカードという形で用意しました。最大で3種類のオプションカードを組み合わせることができます。オプション機能は下記の5種類です。

  • BCD出力
  • アナログ出力
  • DC電源
  • コンパレーター
  • RS-232Ｃ通信

 

GS-3813B/GS-3830B リニアゲージセンサーは DG-5100 デジタルゲージカウンタと組み合わせて使用します
GS-3800Bシリーズ

特長

  • 0.1 μm 分解能の リニアゲージセンサーに対応
  • 計測機能の高速化 高分解能でも1 µm 分解能リニアゲージセンサー相当のスピンドル速度を確保
  • BCD出力、アナログ出力、コンパレーター出力など必要な機能を自由に選択して搭載可能

システム構成例

ゲージ・カウンタ接続一覧 （PDF 397KB）

ゲージセンサー分類一覧

アプリケーション例

レーザーなどの光学系に使用されるガラス部品の高精度寸法測定

レーザー機器用ガラス部品などは、研磨加工工程で接触式高精度リニアゲージで寸法検査をし、中間工程での精度を確保し、最終工程の光学検査工程へ送ります。

アプリケーション例 (レーザーなどの光学系に使用されるガラス部品の高精度寸法測定)

1 µm の精度でシリコンウェハーの厚さ測定

高精度リニアゲージセンサーを使用し、1 µm の精度でシリコンウェハーの厚さを測定します。4インチ以下の小さなウェハーでは ST-0230 ゲージスタンドを利用できます。

アプリケーション例 (0.5µm の精度でシリコンウェハーの厚さ測定)

タイヤの振れ幅測定

タイヤの回転振れを測定します。振動が大きい環境での測定が想定されますので、リニアゲージは耐振動型の使用をお勧めします。
リニアゲージセンサーに対して横応力がかかる場合は、治具などで間接的に測定する方法をお勧めします。
ただし、間接測定の場合には治具によっては精度が悪くなる場合がありますので、ご注意ください。
この図の例では軸受け強度が高く、耐振動・耐衝撃性能もベーシックタイプの2倍の GS-4730A を例示しています。

アプリケーション例 (シリコンウェハなどの反りがある素材の高精度厚さ測定)

仕様

適応ゲージセンサー GS、BSシリーズ
表示方式 蛍光管　7桁
表示範囲 0.0000～±99.9999 mm ※1
0.000～±999.999 mm
0.00～±9999.99 mm
入力信号 90°位相差方形波信号　ラインドライバもしくは電圧出力
外部制御入力信号 ホールド、リセット
電源 AC 100～240 V
使用温度範囲 0～50 ℃
保存温度範囲 -10～＋60 ℃
外形寸法　(mm) 96(W)×48(H)×148(D)
質量 370 g　
付属品※2 取扱説明書
価格
（税込 ）

※1 ただし、カウントは±400,000までです。それ以上の値はオフセット値やファクター値設定を行なった場合に可能となる数値です。
※2 電源ケーブルは付属しません。

オプション

スロット名 機能 仕様 型名 価格
POWER※ AC電源 AC 100～240 V (50/60 Hz) 標準 -
DC電源 DC 12～24 V ± 5 % TM-0301 オプション （税込 ）
Aスロット コンパレーター出力 出力仕様
1メーク接点出力（機械式リレー）
COMP1、COMP2、COMP3の出力
最大接点容量 DC 30 V/1 A　
AC 250 V/1 A 		TM-0340 オプション
（税込 ）
Bスロット※ BCD出力 BCDデータ（更新時間 約 10 ms）を
オープンコレクタ方式で出力
7桁パラレル出力		 DG-0522 オプション
（税込 ）
RS-232C RS-232C 機能
通信方法：シリアル通信（調歩同期式）
伝送速度（ボーレート）：9600 bps、19200 bps から選択設定
測定データの読み出し、 パラメーターの設定・読み出し		 TM-0350 オプション
（税込 ）
Cスロット アナログ出力 出力方式：電圧、電流選択方式
変換方式：12 bitD/A方式
出力電圧：-10～+10 V/F.S. （F.S.は任意設定）
出力電流：0～16 mA もしくは 4～20 mA/F.S. （F.S.は任意設定）
負荷抵抗：電圧出力時　100 kΩ以上， 電流出力時　500 Ω以下
直線性誤差：±0.3 %/F.S.		 DG-0530 オプション
（税込 ）
Dスロット 信号入力 ラインドライバ、電圧信号（変換コネクター使用）に対応。
センサー用電源 5 V		 標準 -　
信号ケーブル・アクセサリー AX-2050N 圧着端子付き電源ケーブル（AC電源用ケーブル 3m）
AA-8901/AA-8902/AA-8903/AA-8904 ゲージ延長ケーブル （GS-3813・GS-3830用）
AA-8910 接続変換ケーブル
AA-8801/AA-8802/AA-8803/AA-8804 ゲージ延長ケーブル （BS/GSシリーズ用）

信号ケーブル・アクセサリー

※どちらか1つの選択になります

インターフェース

インターフェース

関連情報

最終更新日:2023/07/27