リニアゲージセンサーがもっている測定誤差のことです。決められた測定値ごとに誤差（真値との差）を測定し、スピンドル移動全長で見たときにプラス方向の最大誤差とマイナス方向の最大誤差の絶対値の和がそのゲージセンサーの指示精度になります。

精度測定は基準となる変位計との比較で行い、被測定センサーの最小位桁が変化した時の読取値と基準変位計の値との差を誤差としています。分解能 10 μm のセンサーの指示 精度が 3 μm と分解能以下の精度となっているのはこのためです。

リニアゲージセンサーがもっている最小読み取り値のことです。例えば、リニアゲージセンサー GS-1730 の場合は 10 μm が最小読取値になります。