LV-0383是LV系列激光多普勒振动仪配套使用的3维显微镜测量单元。3台激光多普勒振动仪与显微镜光学系统相结合,3轴方向对微小物体的振动进行非接触测。配有同轴照明装置与2台倍率不同的数码相机,可以方便迅速地确定测量位置,并可记录静止画像。可以用于MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)等微小构造物,微小质量物体等,使用接触方式测量困难的超声波驱动的振动对象等,3轴同时进行振动现象的分析评价。

 

※ LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时

 

应用领域

  • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)的振动评价
  • 压电元件的剪切应力的状态测量
  • 超声波关联物体的振动测量
  • 微小构造物的非接触3维振动测量

 

特长

  • 可3维非接触测量振动频率范围0.3 Hz~100 kHz ※1
  • 被测物与照射激光,经2个不同倍率(视野)的途径同时观测确定测量位置 ※2
  • 激光焦点直径最小φ4.5 µm以下可测量微小物体
  • 配套激光多普勒振动仪LV-1800,LV-1710/LV-1720/1720A等

※1 100 kHz以上的分析需求可商谈对应
※2 LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时

 

系统组成


※ 40 kHz以上的分析需求(采样频率102.4 Hz以上)可商谈对应


简要规格

配套激光多普勒振动仪

LV-1800
LV-1710
LV-1720A
LV-1720

光学参数

检测器尺寸 M22 X 0.5 长度 4 mm
测量距离 38.9 mm(使用物象镜头10 X时)
焦点直径 4.5 µm

观测装置

CMOS数码相机 1280 x 960 (USB 2.0输出)
焦点调节单元 方式 手动粗调 / 微调
上下调节 30 mm
粗动调节 36 mm/R
微动调节 0.2 mm/R
伸延长度 100 mm
脱落防护 装备脱落防护装置

基台

材料

铝制(配有上磁钢板)
尺寸 310 mm X 300 mm
激光安全标准 激光安全等级 3R级
3维光学系统 夹角 45°
夹角调整 ±1°

夹角调整

±1°
扩展性 可2轴使用
激光焦点 各轴设置激光多普勒传感器分别实施

使用环境

使用环境 依照配套传感器
重量 17 kg(不包括传感器)

 

●为了提高性能,可能不经预告而变更外形及规格,请谅解。

Revised: 2012/10/15

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