製品写真(LV-0383 レーザドップラ振動計用三次元微小物体振動検出システム)

LV-0383 は、レーザドップラ振動計用の3次元顕微鏡ユニットです。3台のレーザドップラ振動計と顕微鏡装置により、3軸方向に発生する微小物体の振動を非接触で検出できます。同軸落射照明と倍率の違う2台(※)のディジタルビデオカメラで素早く正確な位置決めと、静止画像記録が可能となります。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)や微小構造・小質量の対象や、接触式での検出が困難な超音波駆動の対象振動の三次元挙動の評価を可能にします。

※ レーザドップラ振動計LV-1800に LV-0181 位置決め用内蔵カメラ装着時

アプリケーション例

● MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の評価
● 圧電素子のせん断方向の挙動計測
● 超音波デバイスの計測
● 微小構造部の三次元振動検出

特長

  • 0.3 Hz~100 kHz ※1 の3軸非接触振動検出が可能です

  • 検出対象と照射レーザ光を、2つの倍率(視野)で同時観察 ※2 しながら位置決めできます

  • 4.5 µm のレーザスポット径で微小物体の検出が可能です

  • レーザドップラ振動計LV-1800、LV-1710 / LV-1720 / 1720A が対応します

 

※1 100 kHz以上の解析はご相談ください
※2 レーザドップラ振動計LV-1800にLV-0181位置決め用内蔵カメラ装着時



システム構成

※ 40 kHz以上の解析(サンプリング周波数:102.4 kHz)超についてはご相談ください。

概略仕様

対応レーザドップラ振動計

LV-1800
LV-1710
LV-1720A
LV-1720

検出光学系

検出器マウント

M22 X 0.5 長さ 4 mm

測定距離 38.9 mm (対物レンズ10 x 固定)
スポット径 4.5 µm

対象観察装置

CMOSカメラ

1280 x 960 (USB 2.0出力)

フォーカシングユニット 方式 手動により粗動・微動
上下ストローク 30 mm
粗動ストローク 36 mm/回転
微動ストローク 0.2 mm/回転
オーバーハング量 100 mm
落下防止 落下防止リング装備

基台

素材

アルミ(着磁用スチールプレート装着)
サイズ 310 mm X 300 mm

レーザ製品の放射安全基準

レーザ安全クラス

クラス3R
三次元光学系 挟み角 45°

挟み角調整

±1°

挟み角調整

±1°
拡張性 2軸 二次元が可能

レーザ焦点

各軸装着のレーザドップラにて実施

使用環境

使用環境 対応検出器に準ずる
質量
17 kg (装着センサーを含まず)
価格

(税込
光学ユニット/ポール/基台のみ

 

最終更新日:2016/08/23



お問い合わせフィードバックフォーム

お客様相談室




Copyright © ONO SOKKI CO.,LTD All Rights Reserved. | 当サイトのご利用にあたって| 個人情報保護方針