三次元顕微鏡ユニット
LV-0383
三次元顕微鏡ユニットLV-0383 は、レーザードップラー振動計用の3次元顕微鏡ユニットです。3台のレーザードップラー振動計と顕微鏡装置により、3軸方向に発生する微小物体の振動を非接触で検出できます。同軸落射照明と倍率の違う2台※のデジタルビデオカメラで素早く正確な位置決めと、静止画像記録が可能となります。
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）や微小構造・小質量の対象や、接触式での検出が困難な超音波駆動の対象振動の三次元挙動の評価を可能にします。
※ レーザードップラー振動計LV-1800に LV-0181 位置決め用内蔵カメラ装着時
特長
- 0.3 Hz～100 kHz ※1の3軸非接触振動検出が可能です
- 検出対象と照射レーザー光を、2つの倍率（視野）で同時観察 ※2 しながら位置決めできます
- 4.5 µm のレーザースポット径で微小物体の検出が可能です
- レーザードップラー振動計LV-1800、LV-1710※3 / LV-1720※3 / LV-1720A※3 が対応します
※1 100 kHz以上の解析はご相談ください
※2 レーザードップラー振動計LV-1800にLV-0181位置決め用内蔵カメラ装着時
※3 販売終了製品
アプリケーション例
- MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）の評価
- 圧電素子のせん断方向の挙動計測
- 超音波デバイスの計測
- 微小構造部の三次元振動検出
システム構成
※ 40 kHz以上の解析（サンプリング周波数：102.4 kHz）超についてはご相談ください。
概略仕様
| 対応レーザードップラー振動計 | LV-1800、LV-1710* / LV-1720* / LV-1720A* *販売終了製品 |
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|---|---|---|
| 検出光学系 | 検出器マウント | M22 X 0.5 長さ 4 mm |
| 測定距離 | 38.9 mm (対物レンズ10 x 固定) | |
| スポット径 | 4.5 µm | |
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対象観察装置 |
CMOSカメラ | 1280 x 960 (USB 2.0出力) |
| フォーカシングユニット | 方式 | 手動により粗動・微動 |
| 上下ストローク | 30 mm | |
| 粗動ストローク | 36 mm/回転 | |
| 微動ストローク | 0.2 mm/回転 | |
| オーバーハング量 | 100 mm | |
| 落下防止 | 落下防止リング装備 | |
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基台 |
素材 | アルミ（着磁用スチールプレート装着) |
| サイズ | 310 mm X 300 mm | |
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レーザー製品の放射安全基準 |
レーザー安全クラス | クラス3R |
| 三次元光学系 | 挟み角 | 45° |
| 挟み角調整 | ±1° | |
| 挟み角調整 | ±1° | |
| 拡張性 | 2軸 二次元が可能 | |
| レーザー焦点 | 各軸装着のレーザードップラーにて実施 | |
| 使用環境 | 使用環境 | 対応検出器に準ずる |
| 質量 | 17 kg (装着センサーを含まず） |
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関連情報
最終更新日:2022/02/01