尺寸与位移

尺寸测量         非接触方式尺寸位移测量

E-4-1     薄膜（绝缘体）的非接触厚度测量(薄膜移动中测量)

●在生产线上以非接触方式测量薄膜等的厚度。传感器和导体需要平行安装。
在这个例子中，使用的是VE-5010（测量范围 50 ～ 500 μm，分辨率 0.1 μm）。
使用VE-5010时，装配CL-0200高分辨率处理功能（选配）可以将分辨率提高至0.05 μm。
通过加装CL-0201 VE-5010/5011测量范围变化（选配），可以将测量范围指定为20 ～ 200 μm。
在这种情况下，当安装高分辨率选配功能时，显示分辨率为 0.02 µm。


产品配置

  型号 产品名称 备注 数量
1 VE-5010 静电容量式微小位移传感器 - 2
2 CL-5610 非接触静电容量式厚度计 - 1
3 CL-0300 絶縁体測定機能 - 1

備考
选购件
CL-0200高分辨率处理功能（选配）
CL-0201 VE-5010/5011测量范围变化（选配）