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静電容量式非接触厚さ計 CL-5610シリーズ
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写真(CL-5600シリーズ静電容量式非接触厚さ計)

 

CL-5610/5610S は、新開発のギャップディテクタ VEシリーズセンサと接続して、導体や半導体、絶縁体の厚みを計測する非接触厚さ計です。VE シリーズセンサを2個まで接続することが出来ます。また、2 ch のギャップ計測器としても使用できます。

CL-5610 はセンサ用アンプを本体に内蔵し、VE センサを厚さ計本体に直接接続して使用します。デスクトップでのオフライン計測に適しています(センサと本体間のケーブルは 1.5 m で延長は出来ません)。

CL-5610S はセンサ用アンプを外部に独立させ、VE センサと厚さ計本体を離して使用します。本体と外部アンプ間のケーブル長は標準で 2.5 m、オプションにて最大 10 mまで延長可能です。装置への組込など、センサ設置位置と厚さ計本体を離して設置する場合に適しています。

 

特長

  • 豊富な計測項目

厚みとギャップを計測できます。また、それぞれに対し、偏差値・最大値・最小値・最大幅値(最大−最小)の演算値も表示出来ます。

  • 導体・半導体の他、絶縁体の厚みも測定可能

CL-0300 絶縁体測定機能(オプション)により、薄いプラスチックフィルムやガラス板などの絶縁体の厚みを計測することができます。

※複合材は計測できません。比誘電率によっては計測できないものもあります。

  • 導通が完全に取れないサンプルなども安定した厚み計測が可能

サンプルをフッ素系膜でコーティングしたテーブルで保持する場合などは、サンプルと本体(コモン)間の導通を取ることが困難でした。これまでは、広い面積でサンプルと接触させることで安定性を確保する必要がありましたが、CL-0210 高インピーダンス接地モード機能(オプション)により、その面積を小さくすることができます。また、同面積に於いてはより高い安定性を確保することができます。

  • 高分解能演算機能オプション(CL-0200)で最小表示分解能 0.02 μm を実現*1

*1: VE-2011/5010/5011 使用時。VE-5010/5011 は、CL-0201 測定範囲変更オプションで、測定範囲を 20 ~ 200 μm にした場合に適用

  • センサの校正値を最大6種まで保存可能

CL-5610 シリーズは、センサの校正情報を最大6個まで保存することが可能なため、計測範囲と分解能に合わせて最適なセンサを選んで使用することができます。

  • PLC や PC に連続的にデータを取り込むことが可能

データ出力機能として、BCD 出力、RS-232C、アナログ電圧出力の3種類を用意しました。お客様の記録装置に合わせて出力を選ぶことができます。BCD 出力とアナログ出力はデータ更新間隔 20 ms でデータを取り出すことが出来ます。サンプルを移動させながら計測することで、シートの厚み斑検出に必要な連続厚み値を計測することもできます。

※BCD出力とアナログ出力は、出力機能オプション(CL-0110)が必要です。

  • 本器を外部からコントロールすることが可能

製造・検査ライン等で自動計測するには、本器を外部からコントロールすることが必要になります。CL-5610 は、接点によるコントロール端子と RS-232C 端子を標準で装備していますので、PLC や PC から簡単にコントロールすることができます。

  • コンパレータ機能(CL-0110 出力機能装着時)により、オンラインでの異常値監視に使用可能

 

測定サンプル例 

導体・半導体

絶縁体

シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金属板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。

ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどプラスチック類。
(全体が均一な性質の単一材料で構成される薄い物が測定対象となります。)

※上記の測定サンプルの他、中間的な材質、複合した材質の測定については、お問い合わせ下さい。

 

測定方法

導体・半導体を測定する場合 絶縁体を測定する場合(オプション)

 

 
2つのセンサ と被測定物をセンサ測定範囲内で平行に設置し、このセンサ間隔(Gs)を CL-5610 シリーズに設定します。センサ A 、B 間に被測定物を挿入して、各々のセンサ ~ 被測定物のギャップ(Ga、Gb)を測定して、厚さ(t)をもとめます。

 

センサと導体(基準床)を平行に設置し、 センサのギャップ測定値(この時の電圧出力 Gs)を CL-5610 シリーズに設定します。センサと導体(基準床)の間に被測定物を挿入すると、センサの電圧出力は Ga となり、このセンサ電圧変化分と比誘電率 εr から厚さ(t)をもとめます。

※計測可能な絶縁体の厚みは、センサと基準床間のGAP値の約1/3以下を目安としてください。

 

測定例

<こちらをクリックください>

 

概略仕様

計測対象 導体、半導体、絶縁体 *1
センサ入力 2チャンネル(A、B)静電容量式センサ

測定項目

  • 測定対象物の厚さ(導体、半導体、絶縁体<オプションCL-0300>)

  • センサ A と測定対象(導体、半導体)とのギャップ(A)

  • センサ B と測定対象(導体、半導体)とのギャップ(B)

  • A と B との差 (A - B)

表示モード

  • ABS:厚さまたはギャップを絶対値表示

  • Dev:基準値に対する変化量表示

  • 任意期間内(START中)の最大値(MAX)、最小値(MIN)、最大値−最小値(RANGE)

適合センサと表示分解能

新型 VE シリーズ静電容量式ギャップディテクタとの組合せにより、次の表示分解能となります。

センサタイプ 測定範囲
(μm)
分解能(μm)
標準 CL-0200高分解能演算機能
オプション装着時
VE-2011 20 ~ 200 0.1 0.02
VE-5010 50 ~ 500
20 ~ 200*1
0.1 0.05/0.02*1
VE-5011
VE-1020 100 ~ 1000 0.1 0.1
VE-1021
VE-1520 150 ~ 1500 0.5 0.2
VE-3020 300 ~ 3000 1 0.5
VE-3021 販売終了
VE-8020 800 ~8000 2 1
VE-8021

*1:VE-5010/5011 は、CL-0201 測定範囲変更オプションにより測定範囲を 20 ~ 200 μm に指定することができます。その際の高分解能オプション装着時の表示分解能は 0.02 μm となります。
※絶縁体計測の場合、測定範囲の約1/3の厚みを計測の目安としてください。
例)VE-1020を使用する場合、絶縁体の厚みは約350μm以下となります。

精度 ±0.15 %/F.S.(標準)
±0.12 %/F.S.(CL-0200高分解能演算機能オプション装着時<VE-8020/8021を除く>)
精度保証温度範囲 23℃ ± 2℃
表示部 蛍光表示管
測定結果の表示は1項目(大文字)/2項目(小文字)の切替可能

パラメータ設定

測定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、内部メモリーに設定します。これらの設定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。

サンプリング時間

20 ms

アベレージング 移動平均:1 ~ 64 回
インタフェース RS-232C:本器のリモートコントロール、および計測データの取り込みが可能。DPU-414 プリンタ(別売)に印字可能
BCD 出力機能
(オプション:CL-0120)

計測結果を 6 桁パラレル BCD で出力
出力方式:オープンコレクタ出力
出力データ:GAP-A、GAP-B、THICK、A-B、DISP2 表示値から選択
データ更新時間:20 ms
接続ケーブル:AA-8207 (3 m、片側オープン)

リモート機能

外部から演算機能の開始/停止、厚さ校正などの操作可能

■リモート端子 ピン配列と入力信号

A 電源供給 DC 5 ~ 24 Vを入力
・外部から DC 6 V 以上を供給する場合は、抵抗を挿入してください。
B START START キーと同じ機能
C STOP 演算モードを停止します
D PAUSE PAUSE キーと同じ機能
E CALIB 登録されている測定対象物基準片データで校正
・導体測定時のみ有効となります
・測定対象物基準片の厚さは変更できません
F START STATUS 演算モード及び演算中断モード時にアクティブに切り替わり
G COMMON 0 V を接続
H +5V出力 +5 V(MAX:0.4A)を出力

※適合コネクタ:R03-PB8M(多治見無線製)

SYNC機能

CL-5610/CL-5610S を複数台並列同期運転可能

電源

AC 100V ~ 240V 50/60 Hz

使用環境(本体のみ)

温度:+23 ℃±2 ℃(精度保証範囲)、0 ℃~+40 ℃(使用範囲)
湿度: 20~80 % R.H.(但し結露しないこと)

外形寸法

210(W)×99(H)×276(D)mm(CL-5610/5610S 本体)
42.4(W)× 56(H)120(D)mm(CL-5610S用 変換器)

質量

約 4.2 kg(CL-5610/5610S 本体)
約 0.6 kg × 2(CL-5610S用 変換器 CL-0420)

価格

CL-5610: (税込
CL-5610S:(税込

<オプション>

■ CL-0110 出力機能(アナログ出力、コンパレータ出力)

アナログ出力 端子数:3(SENSOR A、SENSOR B、A-OUT)
●SENSOR A、SENSOR B
  出力項目 :SENSOR A および SENSOR B の GAP 値
      (ギャップディテクタからのアナログ出力をそのまま出力)
  出力電圧 :5 V/F.S.(オフセット[-5 ~ 0 V]機能付き)
  出力精度 :±0.25 %/F.S.(精度保証は A、B それぞれ1つのセンサに限られます)
  応答周波数:DC ~ 4kHz

●A-OUT
  出力内容 :THICK、GAP A、GAP B、A-B より選択
  出力電圧 :-5 ~ 0 ~ +5 V
  出力精度 :±0.25 %/F.S
  出力更新間隔:20 ms
コンパレータ機能

出力数 :3(COMP1、COMP2、COMP3)
出力方式:オープンコレクタ出力
設定値 :上限値、および下限値
モード :個別モード、および ALL モード
 ●個別モード:3つの独立したコンパレータとして機能します

設定上限値(UPPER)<設定値または 設定下限値(LOWER)>設定値で コンパレータ接点出力がクローズになります。

 ●ALL モード:3つの出力に「上限オーバー」「OK(範囲内)」「下限オーバー」
        の機能が設定されます

価格 (税込

 

■ CL-0120 BCD出力機能

出力方式 6 桁パラレル BCD、オープンコレクタ出力
出力項目 THICK、GAP-A、GAP-B、A−B、DISP 2 より選択
更新間隔 20 ms
適合ケーブル AA-8207(3 m、片側オープン)
価格 (税込

 

■ CL-0200 高分解能演算機能

  CL-0200 高分解能演算機能オプションを組込むことで VE センサの分解能と直線性を高めます
価格 (税込

 

■ CL-0210 高インピーダンス接地モード機能

  接地抵抗が大きな計測条件でも安定した計測が行えます。
価格 (税込

 

■ CL-0300 絶縁体測定ソフトオプション

  CL-0300 絶縁体測定ソフトオプションを組込むことで CL-5610/5610S で絶縁体の厚さ計測が可能となります
価格 ¥150,000(税込¥157,500)

 

■ CL-015 ウェーハ用スライドテーブル(受注生産)

CL-015 は、CL-5610/5610S と VE-1520 センサとを組み合わせて、シリコンウェーハなどの 半導体・導体ウェーハの厚さを非接触測定するための簡易型手動式スライドテーブルです。真空吸着ピンセットが使いやすいように、ウェーハを乗せる盤面に切り溝をつけてあります。

対象ウェーハ 外径:100 ~ 150 mm 厚さ:0.1 ~ 1 mm

その他、200 mm、300 mm等 特注テーブル製作可能です。

価格 (税込

 

■ VEシリーズ静電容量式ギャップディテクタ

標準タイプ

           
型名 VE-5010 VE-1020 VE-1520 VE-3020 VE-8020
測定範囲(μm)※1 50 ~ 500 100 ~ 1000 150 ~ 1500 300 ~ 3000 800 ~ 8000
外形(mm)※2 φ6 φ8 φ10 φ20 φ40
ケーブル長 1.5m(ケーブル一体型) 別売 VL-1520/1521 ケーブル(1.5m)
温度係数 k1=1.7×10-5、k2=3.4×10-5
使用温度範囲※3 0 ~ +80 ℃
価格
(税込

(税込

(税込

(税込

(税込

 

φ10mm 共通クランプ形状タイプ

           
型名 VE-2011 VE-5011 VE-1021 VE-3021
販売終了
VE-8021
測定範囲(μm)※1 20 ~ 200 50 ~ 500 100 ~ 1000 300 ~ 3000 800 ~ 8000
外形(mm)※2 φ3 φ6 φ8 φ20 φ40
ケーブル長 別売 VL-1520/1521 ケーブル(1.5m)
温度係数 k1=1.7×10-5、k2=3.4×10-5
使用温度範囲※3 0 ~ +80 ℃
価格
(税込

(税込

(税込

(税込

(税込

※1 測定範囲とは、センサ端面から測定対象物までの最大ギャップを表わします。
※2 測定対象物の測定面は、センサ外径より大きい面積が必要になります。
※3 使用温度範囲とは、センサとして動作可能な温度範囲であり、直線性が保証される温度範囲ではありません。
  直線性を確保するためには+23 ℃±2 ℃の温度でご使用ください。 VE シリーズの温度特性に関しては次を参照下さい。

 

■ CL-0201 VE-5010/5011 測定範囲変更オプション

  CL-0201 測定範囲変更オプションをご指定いただくことで VE-5010/5011 の測定範囲を 20 ~ 200 μm に変更できます。
価格 (税込) (※ センサー1本毎に必要です)

 

別売信号ケーブル 

VL-1520(両端ストレートタイプコネクタ)
 価格(税込
VL-1521(L 型コネクタ-ストレートタイプコネクタ)
 価格(税込

Revised: 2013/07/08


● 記載事項は変更になる場合がございます。
● 価格情報は皆様の便宜のために参考用として記載された日本国内価格です。

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