顕微鏡ユニット LV-0381/ 三次元顕微鏡ユニット LV-0383は、微小物体の振動検出用のレーザードップラ振動計用、光学ユニットです。接触式で検出が困難なMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）や圧電素子、微小構造体、超音波駆動の対象振動の検出を可能にします。LV-0381は1軸方向の顕微鏡ユニットです。 三次元顕微鏡ユニットLV-0383 は3台のレーザードップラ振動計により、３軸方向に発生する振動を非接触で検出します。各ユニットは同軸落射照明と倍率の違う２台のデジタルビデオカメラ（オプション）で素早く正確なレーザー光の照射位置決めと、静止画像記録が可能です。振動周波数の解析範囲は最大 100 kHzで、対象の X,Y,Z 方向に発生する振動の速度、加速度、変位の観測と各種の周波数解析が可能です。

• 微小物体、微小領域の振動検出（LV-0383/LV-0381）

最小 2.5 μm（LV-0381）のレーザースポット径での振動検出が可能です。
微小物体、微小領域を高い空間分解能で検出・評価する事ができます。

• X,Y,Z、3軸方向の振動の検出（LV-0383）

0.3 Hz ～ 100 kHz の3軸方向の振動検出（LV-0383）が可能です。
圧電体のせん断方向に発生する横方向の振動、超音波振動も検出可能です。

• 2つの視野倍率で同時観察（LV-0383/LV-0381）

1280×960 サイズの CMOS デジタルカメラで正確なレーザー光の位置決めが可能です。
またレーザードップラ振動計 LV-1800 に LV-0181 位置決め用内蔵カメラ（OP：VGA）を装着する事で、
大小2つの視野倍率で対象物のモニタとレーザー光の位置決め、画像記録をスピーティに行えます。

 

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