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1 MHz サンプリング、変位分解能 0.155nm のワイドレンジ&ナノ変位計測

LV-2100レーザ干渉変位計システム



 

  • 変位分解能 0.1 nm、測定範囲 最大±5 m

  • 最大 1 MHz の高速サンプリング

  • データはアナログ&デジタル出力

  • CCD カメラで微小物体も簡単検出

  • 豊富なデータ解析ツールが効果的な計測・解析をサポート

従来の振動変位の検出は、加速度(m/s2)或いは速度(m/s)から変位への変換が中心でした。しかし MEMS(Micro Electro Mechanical System)や圧電素子応用のアクチュエータなどは、矩形駆動や DC オフセットで挙動するものが多く、従来の加速度センサやレーザドップラ振動計での積分処理による変位換算では正しい変位計測が行えませんでした。

今回新たに開発したレーザ干渉変位計 LV-2100は、無負荷・非接触で MEMS や圧電素子の微小・高速振動変位を 1 MHz サンプリング、0.155 nm の高変位分解能で、DC から直接検出することが出来ます。レーザスポット径は最小 φ1.5 μm と高空間分解能。最大 5 m までの変位ストロークが計測可能です。ディジタル変位出力は振幅レンジ依存の分解能低下がありません。オプションの変位解析ソフトウェア(LV-0930)をはじめ、FFTアナライザや『Oscope/Oscope Professional』時系列解析ツール等の豊富なハード・ソフト群がより効果的な計測・解析をサポートします。

 

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