Max 1.5
μm にレーザスポットを集光
極微小部品の高周波振動計測
- レーザスポット径を Max1.5 μm まで集光可能
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カメラを使用して、レーザビームの照射状況を観察しながらの測定及び照射状況を静止画・動画で記録可能
- レーザドップラ方式のため、高周波域にて 0.01 nm
の変位が測定可能
- 標準仕様にて 1 Hz ～ 3 MHz、 特殊仕様にて 1 Hz ～
20 MHz の振動速度測定可能
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顕微鏡ユニット LV-0148は、LV-1700 シリーズレーザドップラ振動計と LV-0150 シリーズ対物レンズを組合せ使用した微小物体振動測定システムです。レーザドップラ振動計LV-1700シリーズのレーザ光を最大1.5μm以下まで集光・照射する事で、微細・微小な対象物の振動速度を最大3MHz（オプション装備で20MHz）まで検出します。また同軸落射照明装置とデジタルスチルカメラ（CCTVカメラも選択可）を装備し、レーザ光を照射した検出部位を鮮明な画像で観察、静止画・動画を記録できます。 LV-0148を使用する事で、MEMS各部の挙動検出や圧電素子、微小機械部品の振動（加速度・速度・変位）計測が可能になります。