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分解能70pm、作動距離100mm

レーザ式回転軸ぶれ計 RR-2000 システム



  • 最高分解能 0.07 nm(70 pm)、作動距離 100 mm
  • 長距離作動センサで設置が簡単
  • 測定部位への正確な位置合わせが可能
  • 2台連結、4センサまで同期運転可能
  • アナログ出力とデジタル出力(USB2.0)を標準装備
  • デジタルデータは軸ぶれ変位解析ソフトウエアによりPC上で即処理可能

RRO(Repeatable Run-Out):繰り返し回転振れ

NRRO(Non-Repeatable Run-Out):非繰り返し回転振れ

 

 

 

エアスピンドルや HDD 用モータをはじめ、各種の回転体・回転軸に発生する微小な「ぶれ」(NRRO、RRO)や振動の量は、それらを使用する機器の基本性能から信頼性までを大きく左右する重要な要素となってきています。近年、急速に高精度化するこれらの回転体は、NRRO、RROをナノ・メートルの範囲に収めるまで進化し、従来使用されてきた静電容量式変位計等では検出距離や分解能で満足出来ない状況となって来ました。

RR-2000システムは、回転体・回転軸に発生する微小な「ぶれ」(NRRO/RRO)を 100 mm の検出距離から最大 0.07 nm(70 pm)の高分解能で検出が可能なレーザドップラ方式のぶれ検出システムです。検出可能最大振幅 は 1 mmp-p、検出可能周波数範囲は DC ~ 100 kHzとワイドレンジ。アナログ電圧出力に加えてデジタル出力(USB 2.0)を標準装備。USB 2.0 経由でデータをパソコンに高速保存、取り込まれたデータは、変位解析ソフトウエア(RR-0900)を使用して、PC上でダイレクトに各種解析・表示が可能です。 しかも、1台の本体に2台のセンサの接続が可能。また、本体2台を同期運転することで最大4センサによる同時データ収録・解析を行うことが出来ます。

 


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