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レーザ測長計システム LV-9001センサユニット LV-9300レーザユニット LV-0121ディジタル変位計ユニット

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製品カタログ (PDF)
 

 
製品写真(レーザ測長計システム LV-9300/9001) He-Ne レーザ光を使って直線変位を測定する高精度・高速応答非接触測長システムです。干渉計内蔵のシンプルな構成のため簡単に、短時間に設置できます。

プリンタ・スキャナ・コピー機等の OA 機器や、工作機械・移動ステージ等の精密位置決め機構を有する機械の動特性解析まで、高精度な位置決め精度計測に威力を発揮します。

また、LV-0930 変位解析ソフトウェアオプションを用いると、USB 出力より計測データを読み込み、最高 1 MHz のサンプリング周波数で、測定物の移動軌跡や停止時等に発生するオーバーシュートなどの動特性解析や、ISO230-2 に準拠した位置決め精度試験が可能です。

レーザ測長計システムは次の3つのユニットから構成されます。

  • LV-9001 センサユニット
  • LV-9300 レーザユニット
  • LV-0121 変位ユニット

ユニットの組合せにより、1chの測長計として、或いは2chの測長計としてピッチング&ヨーイングや差分計測システムが構成可能です。

特長

  • 干渉計一体型のシンプル構造

  • 最大 ±5 m まで測定可能

  • 最大 1 MHz サンプリング 2.5 m/s 対応の高速応答

  • ±1m :分解能 0.618 nm、±5m :分解能 2.5 nm の高変位分解能

  • LV-0930 動特性解析ソフトを組み合わせ、サンプリング周波数 1 MHz の高速応答で移動軌跡や振動軌跡などをグラフ表示

  • USB 2.0 ディジタル出力を標準装備

 


1ch 測長計

プリンタやスキャナー等の高速性と高精度の位置制御が要求される製品開発には、高分解能で移動動作をロガ−可能です。 またアナログ変位出力を標準装備しているので、加速度ピック アップなどを計測対象に装着して測長と同期した振動解析も可 能です。

イラスト(1ch測長計システム例 - プリンタ ・スキャナ)

 

画面データ(1ch測長計 - 台形制御での移動での変位/速度/加速度同時評価)

台形制御での移動を変位/速度/加速度で同時評価

 


2ch 測長計

2台のレーザ測長計センサを使用すると、差分やピッチング&ヨーイングなどのわずかな違いも計測できます。

 

イラスト(2ch測長計システム例 - 差分/ピッチング&ヨーイング)

 

画面データ(2ch測長計 - 2軸計測によるピッチング測定)
2 軸計測によるピッチング測定

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システム構成例

イラスト(システム構成例)
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概略仕様

LV-9001センサユニット

検波復調方式 光ヘトロダイン検波による変位復調
光源 He-Ne レーザ(波長 632.8 nm)
射出光出力 1 mW 以下(クラス2 JISC6802 FDA 規格適合)
測定範囲 コーナーキューブ使用:±5 m
レーザスポット径 Ø 6 mm
精度 ±0.2 ppm
表示器 ●干渉レベル表示:10 セグメント LED バ−
●レーザ状態表示:ウォームアップ時赤色LED点灯 / 測定可能時緑色LED点灯
●検出 ERROR 表示:赤色LED点灯
センサ主固定穴 主固定 M6×2
信号ケーブル
(RR-0030)
長さ3m(ケーブル外皮:耐熱耐油 PVC 黒色)
質量 2.2 kg

 

LV-0121ディジタル変位計ユニット

アナログ出力 アナログ出力 ±10V (入力インピーダンス 100 kΩ 以上にて)
遮断周波数 DC:DC ~ 100 kHz (fc = −3 dB)
AC:0.3 ~ 100 kHz (fc = −3 dB)
直線性 ±0.1%/F.S
アナログリップル 2 mVp‒p 以下
出力インピーダンス 50Ω(最低入力インピーダンス 100 kΩ 以上)
出力端子 BNC(CO2型)
アナログ変位レンジ 最大計測速度 2.5 m/s(全レンジ)
レンジ表示 選択レンジを7セグメントLEDで表示
設定レンジ
レンジ 最大測定範囲 アナログ最小分解能 ディジタル分解能
1 μm/V ±10 μm 0.3 nm 0.155 nm
5 μm/V ±50 μm 1.5 nm
10 μm/V ±100 μm 3 nm
100 μm/V ±1 mm 30 nm
2 mm/V ±20 mm 618 nm
0.1 m/v ±1.0 m 30 μm 0.618 nm
0.5 m/v ±5.0 m 154 μm 2.5 nm
レンジオーバー表示

各レンジ 100% 以上で赤色 LED 点灯

リセット表示 変位ゼロリセット操作・入力時に緑色 LED 点灯
サンプリング周波数 アナログ出力:1 MHz 固定
ディジタル出力:変位解析ソフトウェア(LV-0930)にて可変可能
(1MHz、500kHz、200kHz、100kHz、50kHz、20kHz、10kHz、5kHz、2kHz、1kHz、500Hz、200Hz、100Hz、50Hz、20Hz、10Hz、5Hz、2Hz、1Hz
ディジタル出力 USB Ver. 2.0 (Full Speed)
コネクタタイプ:ミニBタイプ
EXT信号入力

変位ゼロリセット信号入力/ TRIG 信号入力
コネクタタイプ:R03-R5F

  • 外部リセット信号:無電圧a接点信号入力/closeにてRESET動作

  • TRIG信号:TTL(+5V信号) ※LV-0930使用時使用可能

ピンアサイン

A 外部リセット信号入力
B 外部リセット信号COM
C TRIG信号入力
D TRIG信号COM
E --
SYNCHRONOUS 信号入出力

同期用コネクタ(2 台接続時)

  • RESET 信号

  • CLK 信号

  • TRIG 信号

入力電圧

DC 9 ~ 18 V

電源コネクタ

DCジャック(EIAJ TYPE5) 外側:−電極 内側+ 電極

消費電力

約 10 VA

使用温度範囲

−5 ~ +40 ℃

保存温度範囲

−10 ~ +50 ℃

外形寸法

58(W)×222(D)×135(H)mm

 

LV-9300 レーザユニット

モニター出力
※干渉レベルを電圧出力
アナログ出力:0 ~ 10 V
出力インピーダンス:50 Ω 以下
出力端子:BNC(CO2型)
表示器 ●干渉レベル表示:20 セグメント LED バ−
●レーザ状態表示:ウォームアップ時赤色LED / 測定可能時緑色LED
●ERROR 表示:計測エラー時に赤色LED点灯
使用電源 AC 100 ~ 240 V 50/60 Hz
消費電力 60 ~ 105 VA(1チャンネル測定器)
100 ~ 135 VA(2チャンネル測定器)
動作温度範囲 5 ~ +40 ℃
使用湿度範囲 30 ~ 80 %RH(ただし結露しない事)
保存温度範囲 −10 ~ +50 ℃
質量 6.6 kg
外形寸法 325(W)×222(D)×135(H)mm
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オプション


LV-0930 変位解析ソフトウェア

LV-0930 変位解析ソフトウェアを用いると、USB 出力より計測データを読み込み、最高 1 MHz のサンプリング周波数で、測定物の移動軌跡や停止時等に発生するオーバーシュートなどの動特性解析を行うことが出来ます。また、ISO230-2に準拠した位置決め精度試験が可能です。

環境補正入力 温度、気圧、湿度、波長
時間計測 サンプリング周波数:1 MHz、500 kHz、200 kHz、100 kHz、50 kHz、20 kHz、10 kHz、5 kHz、2 kHz、1 kHz、500 Hz、200 Hz、100 Hz、50 Hz、20 Hz、10 Hz、5 Hz、2 Hz、1 Hz
点数最高:65535 点
解析機能 時間- 変位、時間- 速度、時間- 加速度、±%グラフ、 ピッチング&ヨーイング、角度、差分計算可能
ISO230-2に準拠した位置決め精度試験
最大4 chまで同時サンプリング可能。
OS/CPU Windows2000、XP/Pentium 4 2 GB もしくは Pentium M 1GB 以上
ディスプレイ解像度 1024×768(XGA)以上
メモリー 512 MB 以上
ハードディスク 空き容量 500 MB 以上
インタフェース USB 2.0(Full Speed)

 ソフトウェア画面事例

動特性解析

測定物がどのような変位で動作したか、また速度、加速度の変化など動特性解析が可能です。

画面データ(LV-0930での動特性解析)

±%グラフ

例えばスキャナーや塗布装置のように、等速度制御が±何%に入っているかすぐ確認できます。

画面データ(LV-0930での±%グラフ)

 

差分、ピッチング&ヨーイング計測(2ch 使用)

LV-0930 変位解析ソフトウェアを用いると、USB 出力より計測データを読み込み動作や位置決め計測を解析する事ができます。

画面データ(LV-0930での差分、ピッチング&ヨーイング計測)

 

ISO230-2 位置決め精度試験

等間隔毎に位置決めを行い運転することで、正方向と負方向でそれぞれ目標位置に対しての偏差を自動計測し算出可能です。

画面データ(LV-0930でのISO230-2による位置決め精度試験)

写真(ISO230-2での位置決め精度試験実施検出例)

等間隔に運転することで、設定した制御目標値に対して実際に停止した位置をリアルタイムに時間−変位グラフ(左上図)と位置−偏差がグラフ(左下図)が表示されます。各制御目標位置に対し方向別に平均偏差、標準偏差などが算出され結果 が表示されるとともに、CSVファイルとして出力する事が可能です。

LV-0930 変位解析ソフトウエアその他機能

  • グラフスケールのオート/マニュアル設定

  • 印刷

  • 計測データの CSV 出力

  • 計測データの移動平均

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本体及びオプション価格

型名 製品名 用途 価格(税込)
LV-9001 レーザ測長計センサユニット レーザ放射、検出センサ
LV-9300 レーザ測長計ユニット 本体
LV-0121 ディジタル変位計ユニット チャンネル増設時に LV-9001 とセットで使用
LV-0930 変位解析ソフトウェア デジタル変位データの解析が可能です。
LV-0801 コーナーキューブ Ø 4mm 測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させます(質量 0.2 g 以下)。
LV-0802 コーナーキューブ Ø 7mm 測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させます(質量 2 g 以下)。
LV-0961 直角ミラー レーザー光を直角に曲げます。 別途お見積もり
LV-0822A センサヘットアライメント治具 光軸調整を容易にします。
LV-0017A 大型三脚 定盤が無い場所でのセンサヘッド設置に使用します。
LV-0320 収納トランク(1ch用) レーザ測長計センサ LV-9001、レーザ測長計 LV-9300 一式を収納します。
LV-0330 収納トランク(2ch用) レーザ測長計センサ LV-9001 を2式 、レーザ測長計 LV-9300 一式を収納します。
CF-0703 ケーブル LV-9300とPCを接続するUSBケーブル
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Revised: 2009/01/19


● 記載事項は変更になる場合がございます。
● 価格情報は皆様の便宜のために参考用として記載された日本国内価格です。

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