超音波ツールの振幅計測

システム構成(超音波ツールの振幅計測)

超音波溶着機やボンディングマシンのツール振幅など、20 kHz超の周波数で高速振幅する対象の振幅計測を可能にします。 振幅値や周波数解析で溶着品質や機器メンテナンス時期の判断が可能です。

データ例(超音波ツールの振幅計測)

 

基板に実装された部品の振幅・共振点計測

システム構成(基板に実装された部品の振幅・共振点計測)

レーザードップラ振動計は高空間分解能のため、振動試験時に電子基板に実装された電子部品の振幅をピンポイントで検出することができます。 各々で質量の違う部品や基板の振動モードによって、印加した指定加速度以上に部品が振幅し想定外の負荷が部品に掛かっているケースなども確認する事ができます。

データ例(超音波ツールの振幅計測)

 

薄膜振動の計測

システム構成(薄膜振動の計測)

無負荷、非接触が特長のLV-1800は薄膜の振幅計測に最適です。携帯端末のマイクロホンの振動膜やレシーバ、スピーカのコーン紙、液晶用フィルムなどの透明膜の振幅計測も可能です。

データ例(薄膜振動の計測)

 

ガラス越し計測

システム構成(薄膜振動の計測)

レーザードップラ振動計は焦点位置にない透明体は検出しません。その特徴を使い、真空チャンバーや恒温槽に入った物体の振幅をガラスや石英越しにレーザー照射し検出する事が可能です。

データ例(薄膜振動の計測)

 

 

微小構造物の計測

システム構成(薄膜振動の計測)

LV-1800のレーザースポット径は標準で約φ20 μm、LV-0151B 対物レンズを装着することで約φ3 μmの微小スポット径に絞る事が可能です。この高い空間分解能でMEMS(Micro Electro MechanicalSystems) を代表とする微小構造物の振幅など、従来は困難だった検を可能にします。

データ例(薄膜振動の計測)