製品写真(LV-0381 レーザドップラ振動計用三次元振動検出システム)

LV-0381 は、レーザドップラ振動計用の顕微鏡ユニットです。レーザドップラ振動計と顕微鏡光学系の組合せで、レーザ光をφ2.5 µm に集光・照射する事で、微小物体の振動を最大 3 MHz(オプション装備で 20 MHz)まで検出することができます。

同軸落射照明と倍率の違う2台のディジタルビデオカメラで素早く正確な位置決めと、静止画像記録が可能となります。マイクロマシン、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)をはじめとした小型機械部品、圧電、小型電子デバイス、微小構造物等の振動・挙動を非接触、高空間分解能で検出・評価する事ができます。

※ レーザドップラ振動計LV-1800にLV-0181位置決め用内蔵カメラ装着時

アプリケーション例

● マイクロマシン、
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の振動解析
● 微小構造物の振動計測
● 圧電素子、セラミックコンデンサ等、
電子デバイスの挙動計測
● 昆虫、生物等の挙動検出、計測

 

特長

  • 5倍~50倍の作動距離の対物レンズで、最小φ2.5 µm以下のレーザ光を照射できます

  • 検出対象と照射レーザ光を、2つの倍率(視野)で同時観察 ※1 しながら位置決めできます

  • 0.3 Hz~3 MHz(20 MHz)の振動検出が可能です。(LV-1800装着時)

  • 1次元(面外振動)から2次元(面内1軸振動)、3次元(X,Y,Z)への拡張 ※2 が可能です

  • レーザドップラ振動計LV-1800、LV-1710 / LV-1720 / 1720A が対応します

 

※1 レーザドップラ振動計LV-1800にLV-0181位置決め用内蔵カメラ装着時
※2 拡張については別途お見積もりとなります



システム構成

※ 100 kHz以上の解析はご相談ください。

概略仕様

対応レーザドップラ振動計

LV-1800
LV-1710
LV-1720A
LV-1720

検出光学系

検出器マウント

M22 X 0.5 長さ 4 mm

測定距離 38.9 mm (対物レンズ X10 装着時)

対象観察装置

CMOSカメラ

1280 x 960 (USB 2.0出力)

フォーカシングユニット 方式 手動により粗動・微動
上下ストローク 30 mm
粗動ストローク 36 mm/回転
微動ストローク 0.2 mm/回転
オーバーハング量 100 mm
落下防止 落下防止リング装備

基台

素材

アルミ(着磁用スチールプレート装着)
サイズ 310 mm X 300 mm

レーザ製品の放射安全基準

レーザ安全クラス

クラス2

使用環境

使用環境 対応検出器に準ずる
質量
15 kg (装着センサーを含まず)
価格

(税込
光学ユニット/ポール/基台のみ

対物レンズ

型名 倍率 WD スポット径 価格
LV-0150A 5 X 36.1 mm ø4 µm 以下 (税込 )
LV-0151A 10 X 38.9 mm ø3 µm 以下 (税込 )
LV-0152A 20 X 22.5 mm ø2.5 µm 以下 (税込 )
※ その他の倍率についてはご相談ください。

最終更新日:2016/08/23



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