顕微鏡ユニット
LV-0381
LV-0381 は、レーザードップラー振動計用の顕微鏡ユニットです。レーザードップラー振動計と顕微鏡光学系の組み合わせで、レーザー光をΦ2.5 µm に集光・照射する事で、微小物体の振動を最大 3 MHz（オプション装備で 20 MHz）まで検出することができます。
同軸落射照明と倍率の違う2台※ のデジタルビデオカメラで素早く正確な位置決めと、静止画像記録が可能となります。マイクロマシン、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）をはじめとした小型機械部品、圧電、小型電子デバイス、微小構造物等の振動・挙動を非接触、高空間分解能で検出・評価する事ができます。
※ レーザードップラー振動計 LV-1800 に LV-0181 位置決め用内蔵カメラ装着時
特長
- 5倍～50倍の作動距離の対物レンズで、最小Φ2.5 µm以下のレーザー光を照射できます
- 検出対象と照射レーザー光を、2つの倍率（視野）で同時観察 ※1 しながら位置決めできます
- 0.3 Hz～3 MHz（20 MHz）の振動検出が可能です。（LV-1800装着時）
- 1次元（面外振動）から2次元（面内1軸振動）、3次元（X,Y,Z）への拡張 ※2 が可能です
- レーザードップラー振動計 LV-1800、LV-1710※3 / LV-1720※3 / LV-1720A※3が対応します
※1 レーザードップラー振動計LV-1800にLV-0181位置決め用内蔵カメラ装着時
※2 拡張については別途お見積もりとなります
※3 販売終了製品
アプリケーション例
● マイクロマシン、
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）の振動解析
● 微小構造物の振動計測
● 圧電素子、セラミックコンデンサー等、
電子デバイスの挙動計測
● 昆虫、生物等の挙動検出、計測
システム構成
※ 100 kHz以上の解析はご相談ください。
概略仕様
| 対応レーザードップラー振動計 | LV-1800、LV-1710* / LV-1720* / LV-1720A* *販売終了製品 |
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|---|---|---|
| 検出光学系 | 検出器マウント | M22 X 0.5 長さ 4 mm |
| 測定距離 | 38.9 mm (対物レンズ X10 装着時） | |
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対象観察装置 |
CMOSカメラ | 1280 x 960 (USB 2.0出力) |
| フォーカシングユニット | 方式 | 手動により粗動・微動 |
| 上下ストローク | 30 mm | |
| 粗動ストローク | 36 mm/回転 | |
| 微動ストローク | 0.2 mm/回転 | |
| オーバーハング量 | 100 mm | |
| 落下防止 | 落下防止リング装備 | |
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基台 |
素材 |
アルミ（着磁用スチールプレート装着) |
| サイズ | 310 mm X 300 mm | |
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レーザー製品の放射安全基準 |
レーザー安全クラス | クラス2 |
| 使用環境 | 使用環境 | 対応検出器に準ずる |
| 質量 | 15 kg (装着センサーを含まず） |
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対物レンズ
| 型名 | 倍率 | WD | スポット径 |
|---|---|---|---|
| LV-0150B | 5 X | 36.1 mm | Φ4 µm 以下 |
| LV-0151B | 10 X | 38.8 mm | Φ3 µm 以下 |
| LV-0152B | 20 X | 22.5 mm | Φ2.5 µm 以下 |
※ その他の倍率についてはご相談ください。
関連情報
最終更新日:2022/02/01