LV-0381 は、レーザドップラ振動計用の顕微鏡ユニットです。レーザドップラ振動計と顕微鏡光学系の組合せで、レーザ光をφ2.5 µm に集光・照射する事で、微小物体の振動を最大 3 MHz(オプション装備で 20 MHz)まで検出することができます。
同軸落射照明と倍率の違う2台※ のディジタルビデオカメラで素早く正確な位置決めと、静止画像記録が可能となります。マイクロマシン、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)をはじめとした小型機械部品、圧電、小型電子デバイス、微小構造物等の振動・挙動を非接触、高空間分解能で検出・評価する事ができます。
※ レーザドップラ振動計 LV-1800 に LV-0181 位置決め用内蔵カメラ装着時
アプリケーション例
特長
5倍~50倍の作動距離の対物レンズで、最小φ2.5 µm以下のレーザ光を照射できます
検出対象と照射レーザ光を、2つの倍率(視野)で同時観察 ※1 しながら位置決めできます
0.3 Hz~3 MHz(20 MHz)の振動検出が可能です。(LV-1800装着時)
1次元(面外振動)から2次元(面内1軸振動)、3次元(X,Y,Z)への拡張 ※2 が可能です
レーザドップラ振動計 LV-1800、LV-1710* / LV-1720* / 1720A* が対応します
※1 レーザドップラ振動計LV-1800にLV-0181位置決め用内蔵カメラ装着時
※2 拡張については別途お見積もりとなります
* は販売終了製品
システム構成
※ 100 kHz以上の解析はご相談ください。
概略仕様
対応レーザドップラ振動計 |
LV-1800 *販売終了製品 |
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検出光学系 |
検出器マウント | M22 X 0.5 長さ 4 mm |
測定距離 | 38.9 mm (対物レンズ X10 装着時) | |
対象観察装置 |
CMOSカメラ |
1280 x 960 (USB 2.0出力) |
フォーカシングユニット | 方式 | 手動により粗動・微動 |
上下ストローク | 30 mm | |
粗動ストローク | 36 mm/回転 | |
微動ストローク | 0.2 mm/回転 | |
オーバーハング量 | 100 mm | |
落下防止 | 落下防止リング装備 | |
基台 |
素材 |
アルミ(着磁用スチールプレート装着) |
サイズ | 310 mm X 300 mm | |
レーザ製品の放射安全基準 |
レーザ安全クラス |
クラス2 |
使用環境 |
使用環境 | 対応検出器に準ずる |
質量 | 15 kg (装着センサーを含まず) |
最終更新日:2022/02/01