小野測器 - レーザー干渉変位計　LV-2100

　(LV-2100A が後継機となります）

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LV-2100

製品カタログ　(PDF)

特長
アプリケーション例
システム構成例
概略仕様
オプション
価格

従来の振動変位の検出は、加速度(m/s²)あるいは速度(m/s)から変位への変換が中心でした。しかし MEMS（Micro Electro Mechanical System）や圧電素子応用のアクチュエータなどは、矩形駆動や DC オフセットで挙動するものが多く、従来の加速度センサーやレーザードップラ振動計での積分処理による変位換算では正しい変位計測ができませんでした。

レーザー干渉変位計 LV-2100 は、無負荷・非接触で MEMS や圧電素子の微小・高速振動変位を 1 MHz サンプリング、0.155 nm の高変位分解能で、DC から直接検出可能です。レーザースポット径は最小 φ1.5 μm と高空間分解能。最大 5 m までの変位ストロークが計測可能です。
デジタル変位出力は振幅レンジ依存の分解能低下がありません（アナログ出力と比較して）。

オプションの変位解析ソフトウェア（LV-0930）をはじめ、FFT アナライザーや『Oscope/Oscope Professional』時系列解析ツール等の豊富なハード・ソフト群がより効果的な計測・解析をサポートします。

特長

変位分解能 0.155 nm、測定範囲最大 ±5 m

振動周波数が高くなると、変位も小さくなり、従来のレーザー変位計では計測が困難でした。LV-2100 は 0.155 nm の分解能で変位を検出、コーナーキューブを使う事で ±5 m ストロークの変位を 2.5 nm の分解能で計測する事が可能です。

最大 1 MHz の高速サンプリング

LV-2100 は 1 MHz の高速サンプリングで振動変位を検出します。0.155 nm 分解能の性能で、一般機械振動からMEMS や圧電素子まで広い測定対象の振動変位の検出が可能です。

データはアナログ＆デジタル出力

LV-2100 は検出したデータをアナログ電圧とデジタルデータの両方で出力できます。アナログ変位出力は DC ～ 100 kHz、デジタル変位出力は USB 2.0 で PC に高速転送されます。デジタルデータは伝送誤差やインピーダンスの影響を受けず、直ぐに PC 上でデータ処理を行えます。

CCD カメラで微小物体も簡単検出

LV-2100 はオプションのビデオ観察ユニット（LV-0180）を装着する事でレーザー光の同軸位置で照射位置を確認しながら作業できます。これにより、レーザー光を正確に小型部品や微小部位に位置決め照射可能です。またオプションの対物レンズ（LV-0155）を装着する事で、観察倍率アップとレーザースポットを φ3 μm 迄絞る事が出来ます。

豊富なデータ解析ツール、ハード＆ソフト

LV-2100 は変位データを全てデジタルデータで出力できます。LV-2100 で検出した振動変位データをオプションの変位解析ソフトウェア（LV-0930）を使用して、大きな変位からそこに重畳する微小変位まで計測することができます。また、変位データから速度、加速度に変換しての解析も可能です。さらに、時系列解析ツールオプション『Oscope2』により、FFT 解析や速度、加速度変換など多彩な解析が可能です。FFT アナライザーと組み合わせることで、振動変位波形のデジタル処理や周波数解析まで豊富で多機能なソフトウェアが微小な変位の可視化や信号の抽出まで可能にします。

※デジタルデータを PC で受信するには変位解析ソフトウェア『LV-0930』が必要です。
※Oscope2 へは CSV 形式でのインポートになります。

アプリケーション例

■超音波機器・素子の変位計測

LV-2100は、速度（m/s）や加速度（m/s²）の積分処理でしか得られなかった変位（m）を直接計測可能です。1 MHz の高速サンプリングと 0.155 nm の変位分解能で高周波・微小振幅の高速振動を変位波形で直接検出・観測ができます。

　

アプリケーションイラスト（超音波機器・素子の変位計測システム構成）


60 kHz で振動する超音波ツールの変位波形（右データは左データの部分拡大）

■パルス駆動圧電素子の変位計測

LV-2100 は、DC からの変位計測が可能です。パルス（矩形）波形で駆動される圧電素子やフィルムなどは速度（m/s）や加速度（m/s²）の積分処理では計測困難でした。 LV-2100 は一定時間変位を維持して変位を繰り返す対象の計測も観測可能です。

アプリケーションイラスト（パルス駆動圧電素子の変位計測システム構成）

■オフセットを含む振動の同時計測

LV-2100 は直線変位を伴いながらの振動変位を観測可能です。アクチュエータやシリンダの飛び出し量、圧電素子、リレー（電磁継電器）など、伸長や移動変位と停止時に発生する過渡振動変位を同時に捕らえる事ができます。伸長やオフセット量が多くても、デジタル出力なら 0.155 nm の分解能で振動変位の観測ができます。

アプリケーションイラスト（オフセットを含む振動の同時計測システム構成）

■MEMS ・マイクロマシンの微小変位計測

LV-2100 は、レーザー光を微小スポットにして MEMS やマイクロマシンなど微小構造物の振動変位の計測が可能です。オプションの対物レンズ（LV-0155）や顕微鏡ユニット（LV-0148）など光学機器を使い、目的の微小部位にレーザー光を照射して無負荷・非接触で変位計測ができます。

アプリケーションイラスト（MEMS ・マイクロマシンの微小変位計測システム構成）

■ 5 m 変位、0.155 nm 分解能の変位計測

LV-2100 は、コーナーキューブ（LV-0801/LV-0802）を使う事で、最大 5 m の変位を 0.155 nm 分解能で計測ができます。変位データは全て USB 2.0 で、PC に転送され、変位解析ソフトウェア（LV-0930）を使う事で、大きな変位からそこに重畳する微小変位まで計測できます。また、変位データを速度、加速度に変換しての解析も行えます。

アプリケーションイラスト（5m 変位、0.1nm 分解能の変位計測システム構成）

システム構成例

イラスト（システム構成例）

概略仕様

■センサーユニット

検波復調方式	光ヘトロダイン検波による変位復調
光源	He-Ne レーザー（波長 632.8 nm）
射出光出力	1 mW 以下（クラス2　JISC6802 FDA 規格適合）
焦点距離	100 mm ～ ∞
測定範囲	反射テープ（LV-0012）使用：± 10 mm コーナーキューブ使用：±5 m
レーザースポット径	焦点距離 100 mm で φ20 μm 以下
レンズ部	設定可能範囲内で任意に手動による設定が可能
表示器	●干渉レベル表示：10 セグメント LED バ− ●検出 ERROR 表示：赤色LED点灯
センサー主固定穴	M8×1（ヘリサート補強）
補助固定穴	M4×2（ヘリサート補強）
信号ケーブル	長さ3ｍ（ケーブル屈曲半径：50 mm 以下、ケーブル外皮：：難燃性UL 認定材 PVC 黒色）
質量	500 g（ケーブルを含まず）

■変位変換ユニット

アナログ出力

±10V (入力インピーダンス 100 kΩ 以上にて）

遮断周波数

DC：DC ～ 100 kHz (fc = −3 dB)
AC：0.3 ～ 100 kHz (fc = −3 dB)

直線性

±0.1％/F.S

アナログリップル

2 mVp‒p 以下

出力インピーダンス

50Ω（最低入力インピーダンス 100 kΩ 以上）

出力端子

BNC（CO2型）

アナログ変位レンジ

最大計測速度

2.5 m/s（全レンジ）

レンジ表示

選択レンジを７セグメントLEDで表示

設定レンジ

レンジ	最大測定範囲	アナログ最小分解能	デジタル分解能
1 μm/V	±10 μm	0.3 nm	0.155 nm
5 μm/V	±50 μm	1.5 nm
10 μm/V	±100 μm	3 nm
100 μm/V	±1 mm	30 nm
2 mm/V	±20 mm	618 nm
0.1 m/v	±1.0 m	30 μm	0.618 nm
0.5 m/v	±5.0 m	154 μm	2.5 nm

レンジオーバー表示

各レンジ 100％以上で赤色 LED 点灯

リセット表示

変位ゼロリセット操作・入力時に緑色 LED 点灯

サンプリング周波数

アナログ出力：1 MHz 固定
デジタル出力：変位解析ソフトウェア（LV-0930）にて可変可能
（1MHz、500kHz、200kHz、100kHz、50kHz、20kHz、10kHz、5kHz、2kHｚ、1kHz、500Hz、200Hz、100Hz、50Hz、20Hz、10Hz、5Hz、2Hz、1Hz）

デジタル出力

USB Ver. 2.0 （Full Speed）
コネクタタイプ：ミニBタイプ

EXT信号入力

変位ゼロリセット信号入力／ TRIG 信号入力
コネクタタイプ：R03-R5F

外部リセット信号：無電圧a接点信号入力/closeにてRESET動作
TRIG信号：TTL（＋5V信号） ※LV-0930使用時使用可能

ピンアサイン
A	外部リセット信号入力
B	外部リセット信号COM
C	TRIG信号入力
D	TRIG信号COM
E	--

SYNCHRONOUS 信号入出力

同期用コネクタ（2 台接続時）

RESET 信号
CLK 信号
TRIG 信号

■レーザーユニット

検出器感度切替	スライドスイッチ３段階切替
モニター出力 ※干渉レベルを電圧出力	アナログ出力：0 ～ 10 V 出力インピーダンス：50 Ω 以下出力端子：BNC（CO2型）
表示器	●干渉レベル表示：20 セグメント LED バ− ●レーザー状態表示：：レーザー放射時に緑色LED 点灯 ●ERROR 表示：計測エラー時に赤色LED点灯
収納	センサー収納可能、ケーブル背面巻取り可能
セーフティロック	レーザー光の光路を遮断（短絡時レーザー放射）、無電圧 1a 接点入力
使用電源	AC 100 ～ 240 V　50/60 Hz
消費電力	70 VA 以下
動作温度範囲	−5 ～＋40℃
使用湿度範囲	30 ～ 80 %RH（ただし結露しない事）
保存温度範囲	−10 ～＋50℃
質量	本体：12 kg（センサーを含む）
外形寸法	393（W）×222（D）×135（H）mm

適合規格

本器は以下の規格にしたがって設計、検査されています。

「JIS C 6802（レーザー製品の放射安全基準）」
「IEC60825-1：2001」「FDA（CDRH）」
「CEマーキング（低電圧指令：EN61010-1）
（EMC指令：EN61326）」「FCC（Part 15B）」「CANADA EMI規制（ICES-003）」

オプション

■微小物体観測システム

計測部位を TV モニターで拡大し、微小物体へのレーザー照射や位置決めを可能にします。微小物体や微小部位計測で、レーザー光の位置決めを簡単に行う事ができます。

製品写真（微小物体観測システム）

※受注生産、別途お見積り

仕様

●ビームスポット径：約 3 μm
●ワーキングディスタンス：約 40 mm（LV-0155 装着時）
●ビデオ出力： 1.0 Vp-p（NTSC）

組み合わせ例

●レーザー干渉変位計：LV-2100
●ビデオ観察ユニット：LV-0180
●対物レンズ：LV-0155（必要に応じて使用）

【モニター】15 型 TV（4：3 対角線 380 mm）ファイバー冷光源にて照明

モニター画面データ（幅50μmのスリット）

幅 50 μm のスリット
（画像中央）

モニター画面データ（φ50μmのピンホール）

φ ＝ 50 μm のピンホール
（画像中央）

■顕微鏡ユニット（LV-0148）

顕微鏡ユニット LV-0148 はレーザー干渉変位計 LV-2100を装着可能な、落射照明光学系を備えたユニットです。顕微鏡光学系で直径 1.5 μm 以下まで集光させたレーザー光を対象物の任意の部位に照射し、照射部位をモニターしながら対象物の振動を検出する事が可能です。モニター装置にはデジタルスチルカメラ（もしくは CCTV カメラ）を使用し、検出部位の映像記録も可能です。

製品写真（LV-0148 顕微鏡ユニット）

用途

●MEMS／マイクロマシンの挙動検出
●精密・微小機械・微小部位の振動検出
●圧電素子の挙動検出　等

価格
基本構成：より（税込より）

仕様

●顕微鏡装置
　□対物レンズ

型名	倍率	作動距離（mm）	レーザースポット径（μm）
LV-0151	10×	38.9	3.5
LV-0152	20×	22.5	2.5
LV-0153	50×	20.5	2
LV-0154	100×	14.1	1.5

※別途、倍率・WDの対物レンズについてはご相談ください。

　□照明装置
　　・照明方式：同軸落射照明
　　・光源：LED 光源

　□フォーカスユニット
　　・方式：手動により粗動・微動
　　・上下ストローク：30 mm
　　・粗動ストローク：36 mm/回転
　　・微動ストローク：0.2 mm/回転
　　・微動最小目盛：2 μm/1目盛

●画像観察装置
　□映像装置：デジタルスチルカメラもしくはCCTVカメラ
　（詳細についてはお問い合わせください）

基本構成

レーザー干渉変位計は LV-0148 に付属しません。

●顕微鏡本体：1 台
●対物レンズ：1 台^※１
●照明装置：1 台
●デジタルスチルカメラ：1台^※２

　※1 任意の倍率の対物レンズを１本装着可能
　※2 CCTV カメラに交換可能

■LV-0930 変位解析ソフトウェア

変位解析ソフトウエア（LV-0930）を用いると、USB 出力より変位計測データを読み込み、動作や位置決め計測を解析する事ができます。LV-2100 で取得した変位波形データを、速度(m/s)、加速度(m/s²)に簡単に変換し、元データと変換波形の同時比較や波形データの移動平均、CSV データへのエクスポートなど、対象の動特性解析をスピーディーに行えます。

環境補正入力	温度、気圧、湿度、波長
時間計測	サンプリング周波数：1 MHz、500 kHz、200 kHz、100 kHz、50 kHz、20 kHz、10 kHz、5 kHz、2 kHｚ、1 kHz、500 Hz、200 Hz、100 Hz、50 Hz、20 Hz、10 Hz、5 Hz、2 Hz、1 Hz 点数最高：65535 点
解析機能	時間- 変位、時間- 速度、時間- 加速度、±％グラフ、ピッチング＆ヨーイング、角度、差分計算可能
解析機能	ISO230-2に準拠した位置決め精度試験最大４ｃｈまで同時サンプリング可能。
OS/CPU	Windows2000、XP/Pentium 4 2 GB　もしくは　Pentium M 1GB　以上
ディスプレイ解像度	1024×768（XGA）以上
メモリー	512 MB 以上
ハードディスク	空き容量 500 MB 以上
インタフェース	USB 2.0（Full Speed）
価格	（税込）

▼動特性解析例

測定物がどのような変位で動作したか、また速度、加速度の変化など動特性解析が可能です。

写真（動特性解析試験検出例）

画面データ（動特性解析）

本体及びオプション価格

型名	製品名	用途	価格（税込）
LV-2100	レーザー干渉変位計システム	検出センサー＋本体ユニット	（）
LV-0930	変位解析ソフトウェア	変位データの動特性解析が可能です。	（）
LV-0801	コーナーキューブφ4mm	測定対象に取付け、レーザー光をセンサーヘッドへ反射させます（質量0.2g 以下）。	（）
LV-0802	コーナーキューブφ7mm	測定対象に取付け、レーザー光をセンサーヘッドへ反射させます（質量 2 g 以下）。	（）
LV-0155	対物レンズ	レーザースポットを約 3μm まで絞る事ができます。（測定距離：約 40 mm）	（）
LV-0180	ビデオ観察ユニット	センサー部に装着する事で微小部位のレーザースポットを TV モニターで確認できます。	（）
LV-0301	90度反射ミラー	レーザー光を 90 度曲げ 360°回転する事ができます。隙間などにレーザー光を照射できます。	（）
LV-0105	細型反射ミラー	LV-0301 の先端より更に狭い場所にレーザー光を誘導する 90 度反射ミラーです。LV-0301 の先端部のミラーと交換して使用します。（φ＝ 4 mm）	（）
LV-0015	XY軸微動ステージ	センサーの精密な位置合わせが可能な XY 軸微動ステージです。（ステージ面：60×60mm、移動量：±5mm）	（）
LV-0016	Z軸微動ステージ	センサーの精密な上下位置合わせが可能なZ軸微動ステージです。（ステージ面：60×60mm、移動量：0～10mm）	（）
LV-0017A	大型三脚	定盤が無い場所でのセンサーヘッド設置に使用します。	（）
LV-0030	大型マグネットスタンド	センサーを設置するためのマグネットスタンドです。微動ステージ LV-0015/LV-0016 と組合わせて検出位置の微調整が可能です。	（）
LV-0200	卓上型除振台	床から伝わって来る暗振動を低減して検出精度を向上させます。	（）
-	アクティブ除振台	定盤をアクティブ制御する事で 100 Hz まで無共振で除振を実現します。	（受注生産品　別途お見積り）
LV-0018A	スチールプレート	三脚に装着する事でマグネットスタンドを三脚上で使用できます（水平使用）。	（）
LV-0310	収納トランク	LV-2100 の本体と大型マグネットスタンドなどのオプションを収納可能なトランクです。	（）

高精度型干渉変位計（受注対応）

製品写真（高精度型干渉変位計（受注対応））

※価格、仕様についてはお問い合せください。

高精度型干渉変位計は、より高安定に DC から変位計測可能なアプリケーションです。先端の光学系を交換する事で 5 m スパンの変位から微小物体の変位まで 1 MHz サンプリング、0.155 nm 分解能で計測する事が可能です。

製品写真（LV-0155対物レンズ、LV-0180ビデオ観察ユニット組み合せ）

LV-0155 対物レンズ、LV-0180ビデオ観察ユニット組み合せの微小物体検出構成

製品写真（可変焦点対物レンズ組み合せ）

可変焦点対物レンズ組み合せの構成

Revised: 2010/07/02

● 記載事項は変更になる場合がございます。
● 価格情報は皆様の便宜のために参考用として記載された日本国内価格です。

ご購入をご検討いただく場合には最寄りの当社営業所あるいは代理店にご確認ください。