小野測器-レーザ測長計システム LV-9300A/9002

LV-9300A

レーザ測長計システム　LV-9300A/9002　レーザ測長計ユニット　センサヘッド　LV-0121A　ディジタル変位計ユニット

	外観図ダウンロード (DWG/PDF)
	製品カタログ　(PDF)

特長
システム構成例
概略仕様
オプション
セット価格

5 m/s の高速応答と最高 1 MHz の高速サンプリング性能を備えた、干渉計一体型シンプル構造の高精度・高応答非接触測長システムです。

プリンタ・スキャナ・コピー機等の OA 機器や、工作機械・移動ステージ等の精密・高速位置決め機構を有する機械の変位測定から動特性解析までを強力にバックアップします。

僅か 0.2 g 以下の微小コーナーキューブを使用することで、小型の超音波リニアアクチュエータ移動量も、質量負荷による誤差を最小限に抑えて、今まで以上の高精度解析・評価が実現可能です。

また、LV-0930 変位解析ソフトウェアオプションを用いると、USB 出力より計測データを読み込み、最高 1 MHz のサンプリング周波数で、測定物の移動軌跡や停止時等に発生するオーバーシュート、速度、加速度などの動特性解析、真直度、変位に重畳する周波数解析を行うことが出来ます。加えて、ISO230-2 に準拠した位置決め精度試験が可能です。

レーザ測長計システムは次の３つのユニットから構成されます。

LV-9002 センサユニット
LV-9300A レーザユニット
LV-0121A 変位ユニット

ユニットの組合せにより、１chの測長計として、或いは２chの測長計としてピッチング＆ヨーイングや差分計測システムが構成可能です。

特長

干渉計一体型のシンプル構造
最大 5 m/s、1 MHz サンプリングの高速応答
超軽量のコーナー・キューブ（0.2 ｇ / 2.0 ｇ以下）により質量負荷の影響を軽減
変位出力はディジタルに加えアナログも標準装備、他の信号との同時観測が可能
LV-0930 変位解析ソフトウエアとの組み合わせで［変位 → 速度 → 加速度］の同時変換も簡単

■ １ch 測長計（秒速 5 m の移動物体も 1 MHz の高速サンプリングで計測）

プリンタやスキャナー等の高速性と高精度の位置制御が要求される製品開発では、0.155 nm の高分解能と 1 MHz の高速サンプリングにより、最大 65,535 点の収集が可能です。またアナログ変位出力を標準装備しているので、加速度ピックアップなどを計測対象に装着して測長と同期した振動解析も可能です。

イラスト（1ch測長計システム例 - プリンタ・スキャナ）

画面データ（1ch測長計 - 台形制御での移動での変位/速度/加速度同時評価）
台形制御での移動を変位/速度/加速度で同時評価

LV-9300A0/9002 は最大 5 m/s で移動する対象を 1 MHzの高速サンプリングで変位計測可能です。質量 0.2 g 以下の超小型コーナーキューブ LV-0801 を使用することで高速移動する対象への負荷質量の影響を最小限に抑えることが出来ます。

写真（LV-0801/0802コーナーキューブ）

移動体の駆動に伴う振動や音、トルク、電流・電圧の変化なども同時にアナログ電圧での評価が可能になります。

■ ２ch 測長計

２台のレーザ測長計センサを使用する事で、差分（差動）、ピッチング&ヨーイングなどの計測が可能です。また２点間を同時測長する事で、２点間の移動誤差や移動の際の傾き（角度）を計測出来ます。

イラスト（2ch測長計システム例 - 差分/ピッチング＆ヨーイング）

２点変位の差（差分）	２点を繋ぐ角度変化

変位と角度の同時表示①	変位と角度の同時表示（拡大）②

■円弧・蛇行する変位計測

写真（LV-0815 ビームエクスパンダ） LV-9002 レーザ測長計センサに LV-0815 ビームエクスパンダオプションを装着することでレーザスポットを20×20 mm に拡張し、スポット幅の範囲で上下・左右に揺動もしくは円弧に移動してくるターゲットの変位を捉えることが出来ます。

イラスト（LV-0815を使用しての円弧・蛇行する変位計測）

システム構成例

概略仕様

■ LV-9002 センサユニット

検波復調方式	光ヘトロダイン検波による変位復調
光源	He-Ne レーザ（波長 632.8 nm）
射出光出力	1 mW 以下（クラス2 JISC6802 FDA 規格適合）
測定範囲	コーナーキューブ使用：±10 m
レーザスポット径	Φ 6 mm
精度	±0.2 ppm
表示器	●干渉レベル表示：10 セグメント LED バ－ ●レーザ状態表示：ウォームアップ時赤色LED点灯／測定可能時緑色LED点灯 ●検出 ERROR 表示：赤色LED点灯
センサ主固定穴	主固定　M6×2
信号ケーブル（RR-0030）	長さ3ｍ（ケーブル外皮：耐熱耐油 PVC 黒色）
質量	2.6 kg

■ LV-0121A ディジタル変位計ユニット

アナログ出力

±10V (入力インピーダンス 100 kΩ 以上にて）

遮断周波数

DC：DC ～ 100 kHz (fc = －3 dB)
AC：0.3 ～ 100 kHz (fc = －3 dB)

直線性

±0.1％/F.S（温度係数：±0.025 ％/F.S/℃）

アナログリップル

2 mVp‒p 以下

出力インピーダンス

50Ω（最低入力インピーダンス 100 kΩ 以上）

出力端子

BNC（CO2型）

アナログ変位レンジ

最大計測速度

5.0 m/s（全レンジ）

レンジ表示

選択レンジを７セグメントLEDで表示

設定レンジ

レンジ	最大測定範囲	アナログ最小分解能	ディジタル分解能
0.1 μm/V	±1 μm	0.15 nm	0.155 nm
1 μm/V	±10 μm	0.3 nm
5 μm/V	±50 μm	1.5 nm
10 μm/V	±100 μm	3 nm
100 μm/V	±1 mm	30 nm
2 mm/V	±20 mm	61 nm
0.1 m/v	±1.0 m	30 μm
0.5 m/v	±5.0 m	154 μm
1 m/V	±10 m	4,944 μm

レンジオーバー表示

各レンジ 100％以上で赤色 LED 点灯

リセット表示

変位ゼロリセット操作・入力時に緑色 LED 点灯

サンプリング周波数

アナログ出力：1 MHz 固定
ディジタル出力：変位解析ソフトウェア（LV-0930）にて可変可能
（1 MHz、500 kHz、200 kHz、100 kHz、50 kHz、20 kHz、1 0kHz、5 kHz、2 kHｚ、1 kHz、500 Hz、200 Hz、100 Hz、50 Hz、20 Hz、10 Hz、5 Hz、2 Hz、1 Hz)

ディジタル出力

USB Ver. 2.0 （Full Speed）
コネクタタイプ：ミニBタイプ

EXT信号入力

変位ゼロリセット信号入力／ TRIG 信号入力
コネクタタイプ：R03-R5F

外部リセット信号：無電圧a接点信号入力/closeにてRESET動作
TRIG信号：TTL（＋5V信号） ※LV-0930使用時使用可能

ピンアサイン
A	外部リセット信号入力
B	外部リセット信号COM
C	TRIG信号入力
D	TRIG信号COM
E	--

SYNCHRONOUS 信号入出力

同期用コネクタ（2 台接続時）

RESET 信号
CLK 信号
TRIG 信号

入力電圧

DC 9 ～ 18 V

電源コネクタ

DCジャック（EIAJ TYPE5）　外側：－電極　内側+ 電極

消費電力

約 10 VA

使用温度範囲

－5 ～＋40 ℃

保存温度範囲

－10 ～＋50 ℃

外形寸法

58（W）×222（D）×135（H）mm

■ LV-9300A レーザユニット

モニター出力 ※干渉レベルを電圧出力	アナログ出力：0 ～ 10 V 出力インピーダンス：50 Ω 以下出力端子：BNC（CO2型）
表示器	●干渉レベル表示：20 セグメント LED バ－ ●レーザ状態表示：ウォームアップ時赤色LED ／測定可能時緑色LED ●ERROR 表示：計測エラー時に赤色LED点灯
使用電源	AC 100 ～ 240 V　50/60 Hz
消費電力	60 ～ 105 VA（１チャンネル測定器） 100 ～ 135 VA（２チャンネル測定器）
動作温度範囲	5 ～＋40 ℃
使用湿度範囲	30 ～ 80 %RH（ただし結露しない事）
保存温度範囲	－10 ～＋50 ℃
質量	6.6 kg
外形寸法	325（W）×222（D）×135（H）mm

オプション

■ LV-0930 変位解析ソフトウェア

LV-0930 変位解析ソフトウェアを用いると、USB 出力より計測データを読み込み、最高 1 MHz のサンプリング周波数で、測定物の移動軌跡や停止時等に発生するオーバーシュートなどの動特性解析を行うことが出来ます。また、ISO230-2に準拠した位置決め精度試験が可能です。

環境補正入力	温度、気圧、湿度、波長
時間計測	サンプリング周波数：1 MHz、500 kHz、200 kHz、100 kHz、50 kHz、20 kHz、 10 kHz、5 kHz、2 kHｚ、1 kHz、500 Hz、200 Hz、 100 Hz、50 Hz、 20 Hz、10 Hz、5 Hz、2 Hz、1 Hz 点数最高：65535 点
解析機能	時間- 変位、時間- 速度、時間- 加速度、±％グラフ、ピッチング＆ヨーイング、真直度、角度、差分計算、移動平均、周波数解析
	ディジタルフィルタによる波形処理
	ISO230-2に準拠した位置決め精度試験最大４ch まで同時サンプリング可能。
OS/CPU	OS：Windows XP (SP2 以降), Windows Vista (SP1), Windows 7（32 ビット版のみ対応） CPU：Intel Pentium 4／2 GHz 以上
ディスプレイ解像度	1024×768（XGA）以上
メモリー	512 MB 以上
ハードディスク	空き容量 500 MB 以上
インタフェース	USB 2.0（Full Speed）

　ソフトウェア画面事例

▼動特性解析

測定物がどのような変位で動作したか、また速度、加速度の変化など動特性解析が可能です。

画面データ（LV-0930での動特性解析）

▼±％グラフ

例えばスキャナーや塗布装置のように、等速度制御が±何％に入っているかすぐ確認できます。

画面データ（LV-0930での±％グラフ）

▼差分、ピッチング&ヨーイング計測（2ch 使用）

LV-0930 変位解析ソフトウェアを用いると、USB 出力より計測データを読み込み動作や位置決め計測を解析する事ができます。

画面データ（LV-0930での差分、ピッチング&ヨーイング計測）

▼ISO230-2 位置決め精度試験

等間隔毎に位置決めを行い運転することで、正方向と負方向でそれぞれ目標位置に対しての偏差を自動計測し算出可能です。

画面データ（LV-0930でのISO230-2による位置決め精度試験）

等間隔に運転することで、設定した制御目標値に対して実際に停止した位置をリアルタイムに時間－変位グラフ（左上図）と位置－偏差がグラフ（左下図）が表示されます。各制御目標位置に対し方向別に平均偏差、標準偏差などが算出され結果が表示されるとともに、CSVファイルとして出力する事が可能です。

▼LV-0930 変位解析ソフトウエアその他機能

グラフスケールのオート/マニュアル設定
印刷
計測データの CSV 出力
計測データの移動平均

　セット価格

価格　（税込）

LV-9002 センサヘッド１台
LV-9300A レーザ測長計ユニット１台
LV-0121A デジタル変位計ユニット１台

追従速度：0 ～ ±5 m/s
分解能：0.155 nm（ディジタル出力）

価格　（税込）

LV-9002 センサヘッド２台
LV-9300A レーザ測長計ユニット１台
LV-0121A デジタル変位計ユニット２台

本体及びオプション価格

型名	製品名	用途	価格（税込）
LV-9002	レーザ測長計センサユニット	レーザ放射、検出センサ	（）
LV-9300A	レーザ測長計ユニット	本体	（）
LV-0121A	ディジタル変位計ユニット	チャンネル増設時に LV-9002 とセットで使用	（）
LV-0930	変位解析ソフトウェア	デジタル変位データの解析が可能です。	（）
LV-0801	コーナーキューブ Ø 4mm	測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させます（質量 0.2 g 以下）。	（）
LV-0802	コーナーキューブ Ø 7mm	測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させます（質量 2 g 以下）。	（）
LV-0961	直角ミラー	レーザー光を直角に曲げます。	別途お見積もり
LV-0822A	センサヘットアライメント治具	光軸調整を容易にします。	（）
LV-0017A	大型三脚	定盤が無い場所でのセンサヘッド設置に使用します。	（）
LV-0320	収納トランク（1ch用）	レーザ測長計センサ LV-9002、レーザ測長計 LV-9300A 一式を収納します。	（）
LV-0330	収納トランク（2ch用）	レーザ測長計センサ LV-9002 を２式、レーザ測長計 LV-9300A 一式を収納します。	（）
CF-0703	USB ケーブル	LV-9300A と PC を接続する USB ケーブル（ケーブル長：1.5 m）	（）
LV-0125	リセットスイッチ	離れた場所からの原点リセットとBNC端子によるトリガ入力が可能です。（ケーブル長：3 m）	（）
LV-0815	ビームエクスパンダ４倍	レーザ光を 20×20 mm に広げ、大きく左右に振動、もしくは円弧に移動してくるターゲットを捉える事ができます。	別途お見積もり

Revised: 2011/11/01

● 記載事項は変更になる場合がございます。
● 価格情報は皆様の便宜のために参考用として記載された日本国内価格です。

ご購入をご検討いただく場合には最寄りの弊社営業所或いは弊社代理店にご確認下さい。