ギャップディテクタ測定原理
非接触厚さ計測定原理
■導体・半導体を測定する場合
導体を測定する場合2つのセンサーを被測定物に対し測定範囲内でかつ平行に設置します。
この2つのセンサー間隔 (Gs) を CL-5610シリーズ に設定します。
センサー A、B 間に被測定物を挿入して各々のセンサー−被測定物のギャップ (Ga、Gb) を測定して、厚さ (t) を求めます。
■絶縁体を測定する場合(CL-0300オプション )
センサーと導体(基準床)の間隔(Gs)をCL-5610シリーズ に設定します。センサーと導体(基準床)間に被測定物を挿入するとセンサーの出力は Ga となり、このセンサー出力変化分と比誘電率εr から厚さ(t)を求めます。
(CL-0300絶縁体測定機能)
εr: 比誘電率(真空の誘電率を1としたときの被測定物の誘電率を比誘電率という。
最終更新日:2016/09/02