ガルバノスキャナー（ガルバノミラー）とは、レーザー光を反射するミラー走査角度を調整するためのモーターで、高精度な位置センサーを搭載しています。レーザーマーカや顕微鏡、LiDARなど、レーザー光と組み合わせて幅広い用途で使用されています。用途によっては、ミラーを高速かつ高精度に広範囲に走査（スキャン）することが、求められます。そのため、製品開発時は、高速化を実現するために精度の良いシミュレーションを行う必要があり、また、モデルや制御パラメータの最適化が必要です。
また、お客様に安心してご利用して頂くために、出荷前に製品の性能が担保できているか確認する必要があります。
そのためにガルバノスキャナーの制御特性評価やミラーの共振周波数を高精度に簡単に計測し、把握することが課題でした。

※シチズン千葉精密株式会社様ご提供資料

共振周波数付近でミラーを動作させるとミラーが大きく振動してしまう。画像処理に利用した場合、画像が乱れてしまう事がある。
また、共振周波数が設計値よりも低い周波数になっていた場合、高ゲインな制御ができなくなり、ミラーを高応答に動作する事ができなくなる。これらの理由からガルバノミラーの共振周波数を把握する事が非常に重要になる。

製品出荷検査
・生産したガルバノミラーが、仕様通りの特性になっているか検査する

研究開発
・設計値通りの特性になっているかを評価する

ミラー、モーター、制御回路など製品全体の制御特性を評価

研究開発
・製品開発時に制御特性をシミュレーションし製品を設計する
・試作品（実機）の性能を計測し、シミュレーションの演算に活用する
・シミュレーションの精度を向上させることで製品の高性能化（高応答化）を実現させる

ミラー、モーター、パワーアンプのみの特性を評価

研究開発
各製品のモデルを作成するために必要な特性を実機にて取得する