|
新開発 VE シリーズ静電容量式ギャップディテクタと VT
シリーズ変換器の組合せにより、測定対象(鉄、アルミ、銅、各種金属メッキなどの導電体)までの距離・変位を非接触で高精度に測定する静電容量式微小変位計です。
測定対象物面とそれと対向して設置された VE
シリーズセンサ電極の端面とが形成するコンデンサの静電容量から、センサ端面とターゲット面のギャップ・変位を測定します。
VT-5700
シリーズは組み込み用途に適した小型・低価格タイプ、周波数応答が 4kHz の VT-5710 と高速応答
10kHz 対応の VT-5720 の2機種をラインナップ。タービン、電動機、コンプレッサなどの回転機の軸振動や面振れ、シリコンウェハ、ハードディスク等導電体の反りや平面度・厚さの測定制御に威力を発揮します。
非接触検出ですから、回転あるいは振動する測定対象物に負荷をかけず、しかも振動モードをかえることもありません。VEセンサは測定範囲
20μm 〜 8 mm 用まで10種類を用意しました。
[VT-5200シリーズ実験用途タイプ]
|